应材、荏原垄断市场，华科中国市场突围。
行业经历了群雄并起、并购扩张，最终形成寡头竞争格局。1997-2017 年，全 球 CMP 设备市场进行了激烈竞争，CMP 设备厂商从 20 家逐渐集中在 2017 年两大 龙头企业，分别是美国 AMAT 和日本 EBARA。2019 年，美国 AMAT 和日本 EBARA CMP 设备销售收入合计占全球市场份额超过 90%，分别占比 70%、25%。
国内绝大部分先进制程的 CMP 设备来自 AMAT 和 EBARA，国内厂商华海清科、 烁科精微主要供给中低端 CMP 设备。华海清科依托清华大学科研成果转化成立，目 前已有 12 英寸和 8 英寸 CMP 设备导入客户产线，打破国外厂商垄断。北京烁科精 微电子装备有限公司成立于 2019 年，其生产的 8 英寸 CMP 设备已实现销售，应用 于中芯国际 FAB7 T3 产线和华虹集团，首台 12 英寸 CMP 设备于 2021 年 2 月发往 客户处进行验证。
国产 CMP 设备发展较快，华海清科市占率快速提升。华海清科具备 12 英寸和 8 英寸 CMP 设备的生产能力，根据 SEMI 统计的 2018-2020 年中国大陆地区 CMP 设备市场规模和公司 2018-2020 年度 CMP 设备销售收入计算，2018-2020 年华海清 科在中国大陆地区的 CMP 设备市场占有率约为 1.05%、6.12%和 12.64%。
