功能：工艺介质供应系统主要功能为在充分保证质量和安全的前提下，按照工艺需 求的流量及压力，将气体、化学品、水等介质输送到各个工艺环节，并实现整个生 产过程的监测与控制。其中涉及到工艺介质的输送分配、混合分离、蒸发冷凝以及 物料输送过程的纯度控制、工艺控制以及安全控制等。工艺介质供应系统与厂务动 力系统、尾气废液处理系统共同构成工业企业的厂务系统，为工业企业的核心工艺 设备运转提供支持。
应用：工业介质供应系统应用于泛半导体、光纤产业、医药行业等众多高端制造领 域。具体表现为：
（1）泛半导体：掺杂、光刻、刻蚀、化学气相沉积等核心工艺中高纯介质的输送；
（2）光纤产业：光纤预制棒制造工艺（光纤制造技术的核心）中高纯工艺介质（高 纯特气、高纯大宗气体、高纯化学品、高纯水等）、金属卤化物的提纯，以及芯棒 制造、芯棒表面处理、外包层制造等核心工艺环节；
（3）医药行业：作为制药级用水系统和物料工艺配液系统等，提供纯化水、注射用 水等核心原料并充当反应发生容器。
以公司2021年经营数据为例，工艺介质供应系统包括高端电子工艺设备、生物制药 设备、MRO（技改工程+设备销售）、MRO（配建销售+运维服务）四部分，2021 年实现营业收入共计16.4亿元，营收占比分别为78.3%、10.2%、4.6%、6.9%，其 中核心技术对应产品收入为93.1%。以高端电子工艺设备、生物制药设备为对象对 其下游应用进行拆分，其应用于太阳能光伏、集成电路、平板显示、生物医药、半 导体照明、光纤通信的占比分别为37.9%、24.9%、14.1%、11.6%、2.3%、0.9%。
公司以工艺介质供应系统业务为技术研发核心，提供电子工艺设备、生物制药设备 产品，前端连接工艺介质存储装置，后端连接客户工艺生产设备，实现特种气体、 化学品安全稳定输送。
电子工艺设备：产品包括特气柜、化学品中央供应柜、分流箱、化学品稀释混配单 元、液态源输送设备等。服务于集成电路、太阳能光伏、平板显示、半导体照明、 光纤制造等高科技制造业，定制化连接高纯介质和生产设备，从而为多种工艺提供 大量高纯、超高纯（ppt级别）的干湿化学品。
生物制药设备：产品包括制药用水装置、生物工艺装备、高端制剂装备等，旨在为 生物医药产业提供符合标准的洁净流体工艺系统，涵盖单元装备以及系统集成服务， 助力抗体蛋白等生物药、疫苗、细胞与基因之治疗、体外诊断技术研发及产业化。
公司的电子工艺设备和生物制药设备在纯度、工艺、安全角度领先国家标准，满足 客户的定制化需求。在纯度控制方面，公司应用介质供应系统微污染控制技术开发 出高纯度级别产品，以公司的高纯特气柜系列产品为例，其在正压、氦检、颗粒、 水分、氧分测试环节均遥遥领先于国家和客户标准；在工艺控制方面，公司针对客 户气体大流量、湿化学品等特殊工艺要求，开发了2,000slpm/套氨气供应系统、浓 度误差范围在+/-0.002%以内化学品混配系统，满足客户高标准定制化需求；在安全 控制方面，公司针对设备全生命周期，在设计、安装、运维、应急处理等各环节提 供智能化的技术支持。
