（1）业务一：工艺介质供应系统
投资逻辑：多下游领域拓展，业务构建稳固基本盘。公司工艺介质供应系统产品包 括电子工艺设备、生物制药设备、MRO服务，其产品下游覆盖泛半导体（集成电路、 光伏、平板显示、LED）、光纤、生物医药等高端制造领域。公司技术水平位列行 业前列，并切入中芯国际、京东方、惠科技术等核心客户，充足的在手订单实现业 绩保障。除此之外，公司由外部供气设备拓展到内部工艺模块，推出Gas Box气柜 模组产品，切入半导体零部件赛道。公司正转变为高端制造工艺介质业务的综合服 务上，技术基石稳固，双重国产替代趋势下业绩增长空间大。
收入：短期看，2022年Q1-3公司营业收入同比+46%，其中工艺介质供应系统占据 收入主体，考虑到公司目前在手订单充足，且年底存在设备批量验收情况，22Q4预 计业务将继续保持高速成长，2022年全年增速预计高于前三季度；远期看，受制裁 影响，2023年中国半导体设备投资收紧，公司收入增速放缓。预计2022-2024年工 艺介质供应系统营收增速分别为50%、35%、25%。
盈利：公司深耕于中芯国际等头部客户；同时，上游原材料价格逐渐回落。预计 2022-2024年工艺介质供应系统业务毛利率为28%、27%、27%。
（2）业务二：高纯特种气体
投资逻辑：两次募投扩产，产能攀升伴随品类拓展，构建第二成长曲线。公司依托 于工艺介质设备拓展到高纯气体业务，其砷烷、磷烷等电子特种气体在纯度、工艺 等方面性能优异。2020、2022年，公司两次募集资金发展电子气体业务，增加现有 产能并开发高纯氢气、氧气等电子大宗气体产品。目前，我国高纯特气市场被液化 空气集团等外资龙头垄断，本土企业规模较小可替代空间大，公司高纯特气的放量 将构建公司的第二增长曲线。
收入：公司一期、二期气体募投项目预计将于22Q4、23Q4竣工，届时公司产能将 迎来放量，收入增速随着气体种类拓展和产能瓶颈突破而逐渐加快，预计到2024年 公司气体业务营收占比将达到16%。
盈利：随着募投项目逐渐竣工，公司依靠核心技术生产销售的高毛利率气体（磷烷、 砷烷等）比重将增加，低毛利率的贸易气体比重减低，预计盈利能力将逐步提升。
（3）公司整体
投资逻辑：公司依托电子工艺+制药设备积极开拓气体和半导体零部件业务，逐渐由 设备供应商成长为综合服务平台化公司。宏观上，海外制裁影响下半导体设备及零 部件国产替代进程加速；微观上，公司泛半导体工艺介质平台化发展模式具备一定 的行业稀缺性，Capex业务已获得大客户的认可且订单维持高位，Opex业务产能扩 张即将迎来放量，外延的半导体零部件业务拓展顺利，因此我们基于宏观因素和在 手订单判断公司业绩将维持高弹性增长。
盈利预测：预计2022-2024年，公司实现营业收入分别为27.49、37.92、49.87亿元， 同比+49.7%、+37.9%、+31.5%；公司实现归母净利润分别为2.41、3.90、5.46亿 元，同比+42.8%、+62.3%、+39.8%。其中2022年受股权激励影响，利润增速弱于 收入，预计2023年股权激励费用大幅降低，盈利能力同比提升。
估值：参考可比公司：①工艺介质供应系统：至纯科技高纯工艺系统和公司的Capex 业务具备较强可比性，为强对标公司；②特种气体：金宏气体为国内特种气体龙头 企业，并在电子大宗气体领域持续突破，与公司Opex业务类似；③半导体零部件： 富创精密为半导体零部件核心标的，零部件产品线齐全且获得海内外大客户认可， 可类比于公司的外延业务。因此，公司整体估值与至纯科技、金宏气体较为接近， 但由于外延半导体零部件业务具备估值优势。综上所示，给予公司2023年35倍PE， 对应合理价值50.97元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。
（一）原材料采购风险 公司所需的超高纯气体阀门、输气管道和接头、真空压力仪表等核心零部件较大比 例采用进口品牌，由于中美贸易争端等因素，存在对进口原材料依赖的风险。除此 之外，公司原材料采购成本占主营业务成本比例较高达到60%以上，原材料成本对 公司利润影响较大。原材料价格受市场需求、汇率水平、关税、议价能力等方面的 影响而波动，将对公司盈利能力产生影响。我们所做的敏感性测算显示，如果2022 -2024年原材料成本上涨10%，则2022-2024年公司毛利率将较本研报盈利预测基准 情形分别下降4.76%、4.82%、4.83%。
（二）突发公共卫生事件等不可抗力影响的风险 突发公共卫生等事件时，疫情对于正常开工、物流、交通等方面的影响，将对公司 自身经营以及行业客户的正常生产经营产生不利影响，从而对公司的经营产生不利 影响。
（三）技术升级迭代风险 公司主要为泛半导体和生物医药等高端制造行业客户提供电子工艺设备、生物制药 设备、电子气体化学品以及MRO服务，其主要业务与下游客户的精细化生产工艺发 展相关，公司需根据下游市场的工艺发展方向、趋势做出正确的判断。若公司不能 及时把握技术、市场和政策的变化趋势，不能及时将技术研发成果与客户需求相结 合，公司可能会面临技术升级迭代的风险，从而导致产品无法满足客户高纯度要求 或不具备经济效益的问题。
