公司设备性能对标主要竞争对手的半导体级单晶炉产品而言,在热场、生长控制系统方面存在差异化优势。
热场方面,公司在热场尺寸上具备优势,更容易形成规模优势降低成本。热场尺寸同生产单晶硅棒的直径有对应关系,热场越大能够生产的单晶硅棒直径尺寸也越大,未来半导体单晶硅的直径尺寸将向12英寸或更大发展。公司热场尺寸较大,兼容性较强,更容易实现规模效应从而降低成本,也有利于公司应用优于其他同类厂家的热场材料。热场本身技术难度不高,许多设备厂、硅片厂都有在自主研发设计。其单价约 15 万元/套,一半成本在于原材,且热场本身属于耗材,其中组成部分的寿命在0.67-2 年。公司的热场供货商金博股份主要采用碳/碳复材,其断裂韧性较高,耐腐蚀性、耐摩擦性、耐热冲击性优秀,与石墨相比性能更优异,寿命更长,且在尺寸增大时碳/碳复材成本仅线性增加,而石墨材料成本按直径平方增加,目前在热场制造中正在加速替代石墨材料。

生长控制系统方面,仅从籽晶和坩埚的升降速率、转速等参数看,国内外主流厂商看似几乎没有差距,但其实公司的差异化优势体现在生长控制系统的软件平台上。基于开放平台架构的第五代单晶炉最大的亮点在于改变了传统的封闭控制系统模式,配置了基于开放架构的用户可编程的软件定义工艺(SoftwareDefined Process, SDP)平台,将控制层与数据业务层分离开来,提供可自行构建工艺时序、控制逻辑、晶体生长核心算法的自主创新条件,用户只需按模型接口即可实现定制开发。
通过此平台技术,客户可以将自己的特殊制程工艺制作成特定的模块,完美解决客户在产能建设中希望将自身成熟工艺固化、保密,及对工艺过程的深度差异化等需求。
磁场及其他方面,公司的产品性能参数不输于行业主流水平。目前国内设备厂均采购海外公司磁场产品,性能方面差距不大。磁场是单晶炉中高价值量的部分,普通的电磁场售价就要 100-200 万元,而目前给 12 寸硅单晶炉使用的超导磁场单价超过500 万元。技术层面上海外企业较为领先,国内厂商的产品稳定性或者验证时间不够,暂时很难获取到客户的信任。比如公司主 要 从 日 本 厂 商 处 采 购 , 南 京 晶 能 主 要 从 TESLA ENGINEERING LTD. 和TOSHIBAENERGYSystem&solutions 采购。不过,由于磁场方面国外扩产缓慢,各家设备厂也都有在培养国内替代供应商,未来有望贡献产能。对比来看,公司的设备在晶棒产能方面不输于国内外主流水平。其中,装料量、炉室直径决定了单晶炉单次可以容纳多少原材料,单次投入的原材料越多,相应的生产成本就越低,同时产能效率也在提高;喉口直径则影响了拉出晶棒的直径大小。