受益光伏+半导体高景气。
光伏迈入“平价时代”：2010 年至 2020 期间，全球太阳能光伏发电的 LCOE 降幅达 85%，从 0.381 美元/kWh 降至 0.057 美元/kWh，十年间光伏度电成本下降了 77%-88%, 成本的下降主要归因于技术革新、安装成本下调。据 IRENA 预测 2022 年将降至 0.04 美元/kWh。未来 10 年：伴随光伏度电成本持续下降，光伏装机需求有望迎 10 年 10 倍增长。我们 测算了 2030 年全球光伏新增装机需求，预计 2030 年全球新增装机需求达 1189- 1472GW（平均 1330GW），2021-2030 年 CAGR 达 24%-27%（参考往期报告：【光伏行业】 深度：光伏未来 10 年 10 倍大赛道！-浙商大制造-20210905）。光伏装机需求未来将迎 大幅增长，拥有巨大的市场空间，需重视光伏赛道带来的巨大增长机会。
硅片真空泵：迎“大尺寸”扩产潮，2022-2025年市场空间合计达41亿元
大尺寸技术：为光伏行业大势所趋，具有“降本增效”的优势，催生硅片设备迭代需 求：大尺寸硅片能够摊薄非硅成本、生产成本，具有“降本增效”的优势。硅片的大 尺寸化符合光伏行业降低度电成本的需求，是长期发展的趋势。
预计 2022 年 182/210 大尺寸硅片成为市场主流，催生硅片产能持续扩张。受益于光伏需求增长+大尺寸技术迭代，硅片行业迎扩产潮，真空泵作为光伏长晶炉的 关键部件之一，应用于拉晶环节、将充分受益。我们对硅片真空泵设备需求进行测算： 1) 硅片设备（长晶炉）：参考行业情况，假设 2022-2025 年行业扩产数量分别为 156GW、 160GW、120GW、120GW，真空泵设备价值量为 500-600 万元/GW。 2) 维保市场：假设真空泵一般 2 年需要维保一次，一次费用约新机的 20%。市场空间测算：预计 2022-2025 年硅片真空泵市场空间（新增+维保）分别达：11.2 亿、11.4 亿、8.9 亿、9.6 亿元，合计 4 年市场空间达 41 亿元。
电池真空泵：迎“HJT、TOPCon”技术迭代，2022-2025年合计市场空间74亿元CAGR=40%
技术发展史：铝背场 BSF 电池（1 代， 2017 年以前）→PERC 电池（2 代，2017 年至 今）→PERC+/TOPCon（2.5 代）→HJT 电池（3 代）→HBC 电池（4 代，可能潜在方 向）→钙钛矿叠层电池（5 代，可能潜在方向）。光伏行业的核心是“降本+升效”、降 低度电成本。单晶电池技术的不断迭代，带来转换效率不断提升。TOPCON 将为 PERC 打开天花板。从未来2-3年的维度来看，因存量 PERC 电池体量较大 （2021 年底 PERC 产能超 300GW）、且绝大多为近2年新上产能，有较强的升级需求， 叠加 HJT 设备投资短期不具备性价比等因素。TOPCon 电池将成为大多数电池厂的优选 方案,来提升电池的转换效率。
HJT“降本增效”潜力巨大，有望取代 PERC 电池成为市场主流。异质结（HJT）电池是 在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，它综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，具有转换效率 高、工艺温度低、稳定性高、衰减率低、双面发电等优点，技术具有颠覆性。据不完 全统计，目前 HJT 国内规划产能超 100GW，新老电池片厂商均有开始布局。预计 2022 年将迎来 25-30GW 扩产潮，2023-2025 年产线建设进入加速期。
受益于电池环节“TOPCon、HJT”双重技术迭代，电池片行业有望迎潜在扩产潮，真 空泵作为电池片制程的重要零部件、将充分受益。我们对市场空间进行测算： 1) HJT、TOPCon 渗透率：基于我们对于 2 种电池技术路径生命周期的未来判断，未来因 HJT、TOPCon 更高的转换效率、将逐步替代传统 PERC 电池，假设 HJT、TOPCon 渗透率 从 2022 年的 4%、15%提升至 2025 年的 28%、65%。 2) 真空泵设备：假设 2022-2025 年，随着国产替代、成本降低，TOPCon 真空泵设备价值 量从 700 万元/GW 下降至 600 万元/GW，HJT 真空泵设备价值量从 800 万元/GW 下降至 700 万元/GW。 3) 维保市场：真空泵一般 1 年需要维保一次，一次费用约新机的 20%。 市场空间测算：预计 2022-2025 年电池（TOPCon+HJT）真空泵市场规模（新增+维保） 有望从 8.9 亿元提升至 24.4 亿元，4 年合计市场需求达 73.7 亿元，2022-2025 年 CAGR=40%。
1.2、半导体需求：核心零部件将成国产替代重要一环，真空泵市场空间大
半导体真空泵：半导体设备真空系统的核心之一，国产替代空间广阔
近年来我国半导体行业发展迅猛。据 SEMI 数据，2021 年全球半导体设备销售额达到 1026 亿美元，其中中国半导体设备销售额达 296 美元，占比达 29%，已成为全球最大 市场。
从国产替代的角度：随着中国半导体设备公司进口替代加速，核心零部件的国产替代 将成为国产设备商必须考虑的下一环。 半导体设备的关键子系统主要分为 8 大类：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断 系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、其他集成系统 及关键组件，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。真空泵为集成电路制造前道工序的四 大核心工艺设备中的三大工艺设备——薄膜、刻蚀、离子注入（约占主要工艺过程的 70%）提供制造工艺所必需的超洁净真空环境，价值量占同期半导体设备销售额的 3%~4%左右。并且因多数真空泵用于超清洁环境，后期维保的需求较大。
国产替代空间广阔：据华经产业研究院数据，目前半导体真空泵市场，海外厂商占据 95%的市场份额，主要由 Atlas、Pfeiffer 占据，国内厂商市场份额不到 5%，目前国产 厂家汉钟精机、中科仪已在客户端取得突破，未来国产替代空间大。
市场空间：预计中国大陆+台湾半导体真空泵市场规模达56亿元，市场空间大
我们核心对国内半导体真空泵市场空间进行测算。 1) 我们对行业 8 寸+12 寸晶圆厂产能进行统计。中国大陆：预计 2025 年国内 8 寸晶圆厂 产能规模有望达 140 万片/月、12 英寸晶圆厂产能有望达 191 万片/月。中国台湾：截 至 2021 年中国台湾半导体晶圆厂产能（8 寸等效）为 453.6 万片/月，暂未考虑未来新 增产能（预计短期国产厂家进入难度较大，更多可能从存量产能更新端开始渗透）。 2) 真空泵价值量：假设每 3.5 万片/月产能需要真空泵约 1000 个（以 12 英寸晶圆生产线 为例），12 万元/个。且平均每年需存量更新 20%。 测算结果：预计 2023-2025 年中国大陆（新增+存量更新）+中国台湾（存量更新）真 空泵设备市场空间年均达 56 亿元。
真空泵进口市场规模：2021 年我国真空泵进口数量为 282.8 万台，同比增长 25%；进 口金额为 10.5 亿美元，同比增长 30%。其中从日本、德国、韩国 3 地进口为主，金额 占比分别为 29.2%、19.1%、18.3%。竞争格局：目前真空泵主要市场由欧洲、日本企业主导，分别是 Edward(被 Atlas 收 购，英国)、Ebara(荏原，日本)、Pfeiffer Vacuum（普发，德国）、Kashiyama(坚山 工业，日本)。国内公司主要中科仪、汉钟精机等。2019 年全球真空市场三大公司占据 全球市场份额 88%，行业集中度较高。 从细分行业来看：目前光伏硅片真空泵已基本国产，2021 年汉钟精机占据 74%的市场 份额。半导体真空泵仍依赖进口为主，国产厂商市占率不足 5%。
