封装技术协同演进,Chiplet 推动先进封装 发展。
封装是芯片与 PCB 之间信息传递的桥梁。芯片加工完成后,芯片在空气中与各 种杂质接触从而对芯片上的电路产生腐蚀,进而使芯片的电气性能下降,甚至损 坏,而经过封装处理后的裸芯片便于装配及运输,因此封装具有把芯片的信号引 出到 PCB、散热及保护芯片等作用。从应用层面上来说,封装是芯片与 PCB 之 间信息传递的桥梁。 芯片的集成化、高速化驱动封装技术发展,带动 I/O 数量高密度化。随着集成电 路的快速发展,芯片尺寸越来越大,集成度和功能密度越来越高,工作频率越来 越快,封装作为芯片与 PCB 之间信息传递的桥梁,需要通过缩小节距来减少信 号延迟,通过增加 I/O(接入/接出)数量和引脚数量来增加信号带宽,即 I/O 的 高密度化。同时,封装也要适应便携式消费电子设备所带来的小型化趋势,IC功耗增大带来的高发热环境,以及可靠性、环保等要求。
封装技术从传统走向先进。半导体封测技术发展可分为 5 个阶段:1)第一阶段: 20 世纪 70 年代前,封装形式为直插型封装,代表技术为双列直插封装(DIP); 2)第二阶段:出现于 20 世纪 80 年代以后,主要以表面贴装技术的衍生和针栅 列阵封装为主;3)第三阶段:进入 20 世纪 90 年代后,开始出现球栅阵列封装 (BGA)、芯片级封装(CSP)、倒装封装(FC)等;4)第四阶段:20 世纪末 开始,封装技术从二维封装向三维封装发展,出现了系统级封装(SiP)、凸点制 作(Bumping)、多芯片组封装(MCM)等技术。5)第五阶段:21 世纪前十年 开始出现硅通孔(TSV)、扇出型集成电路封装(Fan-Out)、三维立体封装(3D) 等。
先进封装为集成电路发展的破局之选。封装技术的发展史是芯片性能不断提高、 系统不断小型化的历史。但随着集成电路的发展,根据《先进封装技术的发展与 机遇》(曹立强),“存储墙”、“面积墙”、“功耗墙”、“功能墙”成为制约发展的 四大瓶颈: 1)存储墙:1996 年至 2020 年,处理器的计算算力每两年增长 3.1 倍,而存储 带宽每两年仅增长 1.4 倍,速递远落后于处理器,业界提出近存计算这一基于先 进封装的技术途径,通过超短互联技术实现存储器和处理器之间的数据近距离搬 运。 2)面积墙:当芯片制程相同时,通过增大芯片面积可以集成更多的晶体管数量, 从而提升芯片的性能,然而,芯片尺寸受限于光刻机的光罩极限;虽可用连接技 术推出大型芯片,突破光照面积,但成本极高,因此通过先进封装技术集成多颗 芯片是突破“面积墙”的低成本主流方案。 3)功耗墙:芯片算力越强,功率越高,2024 年单个 GPU 的热设计功耗将突破 千瓦级,由多个 GPU 芯片和高带宽存储器(High Bandwidth Memory, HBM) 阵列组成的系统,热设计功耗可能突破万瓦级,因此迫切需要采用更先进的冷却 技术。 4)功能墙:在一个单一的芯片或衬底上可以集成的功能是有限的,可通过多芯 片异质集成技术,将传感、存储、计算、通信等不同功能的元器件集成在一起。

先进封装涵盖多种技术,共同演绎。目前,带有倒装芯片(FC)结构的封装、 晶圆级封装(WLP)、扇出型封装(Fan-out)、系统级封装(SiP)、2.5D 封装、 3D 封装等均被认为属于先进封装范畴,这些先进封装大量使用 RDL、Bumping、 TSV 等基础工艺技术,不同技术之前也存在发展阶段的递进,可根据需求选择 不同的解决方案,同时各项技术之间也具有融合的可能。互联技术为半导体封装 提供了电性连接的实现手段,水平方向主要有 RDL,垂直方向上主要有 TSV、 凸点/微凸点、混合键合等互联技术,技术之间存在相结合的可能,适配芯片设 计的复杂性。
晶圆级封装(WLP):晶圆级封装技术采用批量生产工艺制造技术,可以将封装 尺寸减小至 IC 芯片的尺寸,生产成本大幅下降,并且把封装与芯片制造融为一 体。一般来说,IC 芯片与外部电气连接是金属引线以键合的方式把芯片上的 I/O (输入/输出端口)连接至封装载体并经封装引脚来实现的。随着芯片的缩小及 继承规模的扩大,I/O 间距不断减小,当 I/O 间距减少到 70μm 以下时,引线键 合就不再适用,晶圆级封装技术应运而生,利用薄膜在分布工艺,使 I/O 可以分 布在IC芯片的整个表面而不仅仅局限于IC芯片的周边区域,成功解决了高密度、 细间距 I/O 芯片的电气互联问题。 扇出型封装(Fan-out):晶圆级封装主要分为扇入(Fan-in)型和扇出型两种。 扇入型主要用于 I/O 较少的芯片,随着技术进步,芯片集成度提高,I/O 数急剧 增加, 扇入型封装已不能满足芯片面积内多层互联和密集凸点布局的需求,扇 出型封装应运而生。扇出型封装采用圆片重构增加芯片面积,然后应用晶圆级工 艺完成多层互联和凸点形成,最终切割得到可与外部互联的封装体。
倒装(Flip-Chip,FC)结构:常规芯片封装流程中包括贴装、引线键合两个关 键的供需,而 FC 则合二为一,直接通过芯片上呈阵列排布的凸点来实现芯片与 封装衬底的互联,由于芯片是倒扣在封装衬底上的,与常规芯片放置相反,故称 为倒装片。目前,FC 技术较为广泛的应用 Bump 互联技术。 2.5D /3D 封装:2.5D 封装和 3D 封装是高密度封装技术的两种不同形式,前者利用中介层实现芯片的平面展开和互联,后者实现芯片的真正垂直堆叠与互联, 皆为提高系统集成度的重要技术手段。
系统级封装(SiP):是指将多个半导体芯片或无源元件集成于一个封装内,形 成一个功能性器件。它其实是在系统级芯片(SoC)的基础上发展起来的一种新 技术。SiP 封装提供最优化的功能、价格、尺寸,缩短了上市周期,系统封装可 以实现较高的性能密度、集成较大值的无源元件,是最有效的使用芯片组合。它 可以大大减少开发时间和节约成本,具有明显的灵活性和适应性。
封装技术在不同应用领域的优化方向主要是在集成度、成本、性能、可靠性等 方面进行平衡与选择,如: 1) 移动终端(手机、平板等):要求小尺寸、低功耗和低成本。可以使用较为成 熟的扇出封装技术,采用低温共烧陶瓷基板实现高密度布线,并使用更低 成本的有机基板,这可以实现较高的集成度与性能,同时控制尺寸与成本。 也可选择 3D 封装等更高级技术提高集成度。 2) 高性能计算(服务器、数据中心等):要求高速、高带宽和高可靠。可以使用 高速扇出封装技术,采用高频有机基板和先进互联技术(微波互联),并选择 3D 封装等技术实现极高集成度。也可采用光互联技术进一步提速。高性能计算设备对封装技术的要求最高,但成本也更高。 3) 汽车电子:要求高可靠、抗振动与抗高低温。需要使用结构更加稳定可靠 的扇出封装和 3D 封装技术,选择更加耐热和防振动的基板材料,并采用更 高可靠度的焊料与互联技术,这些要求会导致成本上升,但可靠性得到保 证。 需要选择不同的封装技术与工艺来满足不同的应用需求,实现性能、成本与可靠 性的最佳平衡。