打造零部件平台型公司,产品对标全球龙头。
客户覆盖海内外设备龙头,近几年大陆客户导入数量快速提升。1)海 外市场:客户 A 是全球半导体设备龙头,公司自 2008 年设立对标客户 A 的供应商管理标准,2011 年成为客户 A 的合格供应商,实现对客户 A 的量产供货,2016 年成为客户 A 的战略供应商,客户 A 中供应同类 产品的供应商有京鼎精密、超科林等国际厂商,无其他内资厂商。公司 后续又陆续成为东京电子、VAT、ASMI、HITACHI High-Tech 等客户 的合格供应商。2)大陆市场:公司是北方华创、芯源微、拓荆科技、 中微公司、华海清科等设备厂的合格供应商,2020 年成为北方华创的 战略供应商。近两年因国产替代加速,公司导入大陆客户的数量明显增 加,如 2020 年进入中微、华海、凯世通、屹唐股份等大陆设备公司。
公司专注金属零部件,部分产品已进入 7nm 及以下高端制程。1)业 务模式。按照是否参与设计,公司业务模式可分为“由客户提供图样” 和“与客户联合设计”,2021 年“由客户提供图样”营收占比 98%, “与客户联合设计”占比 2%,“与客户联合设计”的占比较 2019 年有 所提升。由公司参与设计的公司有客户 C 和凯世通,其余均为客户提 供图样,公司进行生产制造。在客户提供图样的模式中,公司也会根据 图样提供优化方案。 2)专注金属零部件,擅长铝合金材料。目前仅涉及金属零部件,铝合 金材料见长,还有部分不锈钢产品。从原材料采购金额构成看,2021 年铝合金材料(主要是 6 系铝)采购占比 27%,是公司第二大采购材 料,另外随着气体管路和模组产品业务规模扩张,机械标准件和电子标 准件的采购占比逐年提升。 3)部分产品进入 7nm 及以下制程。部分腔体、内衬、匀气盘等已应用于 7 纳米制程中,公司是全球为数不多可以提供 7nm 及以下制程用零 部件的厂商。2021 年公司 7 nm 制程零部件收入占比为 2%,较 2020 年有所降低,一方面是因为 2020 年 TOCALO 向公司采购量较大,但 2021 年减少了 7 纳米内衬的采购,另一方面是因内销收入大幅提升, 内销产品均应用于 7 纳米以上制程。

公司可提供工艺零部件、结构零部件、模组产品、气体管路四大类产 品,多品类可帮助客户降本增效。工艺零部件和结构零部件、气体管路 是采购金属原材料,按照图纸生产制造,模组产品是将工艺零部件等自 制件与外购件进行装配,外购件主要是机械标准件和电子标准件。公司 是从相对简单的结构零部件延伸到工艺零部件,近五年又开始延伸至气 体管路与模组。客户向公司进行多品类产品采购,可避免对单一精密零 部件生产厂商分别认证,实现一对多产品质量管控,降低采购时间成本 和管理成本,同时,也有利于提升客户的产品效能,减少不同精密零部 件提供商产品之间的磨合。公司年均向客户交付首件种类超过 3000 种, 首件实现量产种类超过 2000 种。
从技术难度看,工艺零部件技术要求最高,气体管路工艺制程标准化, 模组产品是基于自制件。1)工艺零部件,应用于腔体内、与晶圆直接 接触,技术要求最高,工艺制程复杂。2)结构零部件,在设备中起连 接、支撑等作用,工作环境是在腔外、不与晶圆直接接触,因此技术要 求低于工艺零部件,主要是对机加工的精度要求高,整体工艺制程相对简单。3)气体管路,连接气源与反应腔,与工艺、结构零部件生产工 艺有较大差别,工艺制程相对标准化,同样具备较高技术要求。4)模 组产品=自制件+外购件,需要自制件、组装后的模组整体均能满足客 户要求。
从毛利率看,工艺零部件>气体管路>结构零部件>模组产品。2021 年, 毛利率从大到小依次是工艺零部件(34.0%)>气体管路(33.9%)>结 构零部件(32.4%)>模组产品(22.2%),工艺零部件难度最高,毛利 率最高,模组需要外购电子标准件、机械标准件,外购原材料的成本占 比较高,因此毛利率偏低。
从应用领域看,87%营收来自半导体设备,覆盖所有前道设备。2021 年半导体零部件营收贡献 87%,非半导体(主要是显示面板)零部件 营收贡献 13%。半导体设备中,零部件可应用于覆盖高温扩散、光刻、 涂胶显影、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、化学机械抛光,其中刻蚀、薄 膜沉积、离子注入实现四大产品全覆盖。
通过自主研发掌握三大核心技术。公司通过自主研发,掌握了精密机械 制造技术、表面处理技术、焊接等核心技术,产品基本均涉及精密机械 制造、表处、焊接等技术,但不同产品涉及的核心技术具体种类、工序 顺序等都存在差异,零部件产品的多品种、定制化特征显著。
采用离散型制造模式提高首件交付速度,提升柔性化生产能力。,采用 离散型制造模式。首件验证是量产的基础,既好又快地向客户交付首件 是公司核心竞争力之一,针对零部件产品多品种、小批量、定制化的特 点,公司开发共性半导体精密零部件技术平台系统,将复杂的首件分解成大量公司已积累的标准化模板,使得生产效率大幅提高,首件交付周 期大幅缩短。公司年均向客户交付首件种类超过 3000 种。同时,公司 不断完善智能化、柔性化制造模式,降低对人工经验的依赖,实现工艺 整合、利用一台设备完成多道加工工序以及一体化在线生产与检测,保 证了产品质量的稳定与生产效率的提高。
公司产品性能优异,对标海外,是全球为数不多的通过国际主流设备 厂认证的大陆企业。工艺零部件代表性产品通过主流国际客户认证的除 富创精密外,还包括美国厂商、日本 Tocalo、台湾京鼎精密、韩国 Lones 公司,并无内资企业。结构零部件代表性产品中,托盘轴、铸钢 平台、定子冷却套有富创精密、靖江先锋、托伦斯等境内厂商为主流国 际客户供货,而流量计底座、冷却板除富创精密外尚无内资企业供货。 模组产品中仅有离子注入机模组有少量境内厂商可为主流国际客户供货, 其余代表性产品除富创精密外均无其他内资企业供货。气体管路产品供 应商主要包括美国超科林、富创精密以及少量日本厂商,目前尚无其他 内资企业。