三大核心技术国际领先，四大产品线获 国际客户认可。
公司是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部 件制造商。公司产品具体包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四 大类。产品主要应用于半导体设备领域，覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、 光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备，部分产品已应用于 7 纳米制程的前道设备中。
（1） 工艺零部件：工艺零部件是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件， 主要应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备，也少量应用于离子注入设备和高 温扩散设备等。公司代表性工艺零部件包括腔体（按使用功能分为过渡 腔、传输腔和反应腔）、内衬和匀气盘。
工艺零部件由于需要在半导体设备中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应，因此 对其精密度、洁净度、耐腐蚀性等性能有较高要求。目前公司主要工艺零部件产 品已通过国际主流客户认证，部分产品应用于 7 纳米制程半导体设备，性能可 与国际零部件厂商相竞争，是国内唯一一家通过国际主流客户认证的半导体零部 件厂商。
（2） 结构零部件：结构零部件应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设 备和其他领域中，一般起连接、支撑和冷却等作用。公司的结构零部件 种类繁多，不同产品差异较大。
结构零部件对机械加工的精度（主要是平面度、平行度和表面粗糙度等）要求较 高。公司的结构零部件产品目前已通过国际主流客户认证，产品性能可与国际零 部件厂商相竞争。目前部分国内厂商同样能为主流国内客户提供定制化结构零部 件，但通过主流国际客户、国际知名流量计制造商认证的国内半导体零部件厂商 仅公司一家。
（3） 模组产品：工艺零部件、结构零部件等自制零部件与外购的电子标准件 和机械标准件等经过组装、测试等环节，可以制成具有特定功能的模组 产品，主要应用于半导体设备。公司模组产品主要有离子注入机模组、 传输腔模组、过渡腔模组、刻蚀阀体模组、气柜模组。
模组产品不仅需满足自制零部件的技术要求，还需满足组装后产品定制化要求。 公司主要产品均达到或优于主流国际客户标准，少量国内客户定制产品优于主流 国内客户标准。目前有少量国内厂商同样能为主流国内客户提供定制化模组产 品，但通过主流国际客户认证的国内厂商仅公司一家。
（4）气体管路：气体管路产品主要应用于半导体设备中的特殊工艺气体传送， 是连接气源到反应腔的传输管道，公司生产的气体管路主要应用于刻蚀设备、薄 膜沉积设备、离子注入设备等。
由于晶圆加工过程中的气体具有纯度高、腐蚀性强、易燃易爆及毒性的特点，因 此气体管路对密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求。公司气体管路产品指标 均达到或优于主流国际客户标准，也是国内唯一一家通过国际主流客户认证的半 导体零部件厂商。
公司的核心技术主要包括精密机械制造、表面处理特种工艺或焊接工序。上述三 大核心技术均由公司自主研发，且受数十项专利保护，广泛运用于公司的工艺零 部件、结构零部件和气体管路产品。此外公司的模组产品均包含公司自制的精密 零部件产品，相应自制件已与外购机械标准件和电子标准件充分结合，构成模组 产品中核心功能的实现部分。部分模组产品由公司自主设计或参与设计，充分体 现了公司对于半导体设备的深刻理解和工艺集成能力。
国家级项目经验丰富，7nm 工艺制程全球领先。基于多年金属零部件精密制造 技术与人才储备，公司于 2011 年、2014 年相继牵头承担了国家“02 重大专项” 之“IC 设备关键零部件集成制造技术与加工平台”项目、“基于焊接和表面涂 覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，均顺利通过验收。公司拥有多次国家项 目经历，积累了丰厚的专业技术，攻克了零部件精密制造的特种工艺，实现了半 导体设备部分精密零部件国产化的自主可控。目前，公司是全球为数不多的实现 7nm 工艺制程半导体零部件量产的公司。
关键工艺领先，国际客户认可。公司凭借在精密机械制造、表面处理特种工艺、 焊接、组装等关键制造工艺上领先能力，获得了众多国际客户的认可。其中公司 累计通过客户 A 的 39 项大类特种工艺认证，在客户 A 的半导体设备精密零部件 供应商中位居前列。2021 年客户 A 的收入贡献占公司当期营业收入的 56%，稳 居公司第一大客户。由于 A 客户所选用的精密零部件要求极为苛刻，因此合作 关系一经确定，双方往往长期深度绑定。受益于半导体设备国产替代趋势，国内 产品在国内客户端逐渐放量。其中北方华创 2019-2021 年收入贡献分别为 5.5%/10.5%/19.1%，呈明显上升趋势。
国内半导体设备进口替代需求旺盛，国内客户端逐渐放量。受益于国内半导体市 场需求增长，零部件国产化需求拉动，2022 年公司大陆地区销售收入规模成倍 增长，占比持续提升，2022 年国内收入占比 54.61%，首次超过 50%。以拓荆 科技为例，公司与拓荆科技地理位置较近、沟通和物流方便，公司作为拓荆科技 工艺及结构零部件的主要供应商，持续受益于拓荆科技自身订单和收入的高速增 长，2021 年公司对拓荆科技的销售额增幅超过 100%。
高景气赛道，订单充沛。受益于行业市场规模的不断上升以及半导体零部件国产 化进程的持续推进，公司在手订单金额大幅增长。截至 2022 年 1 月 31 日，公 司在手订单合计 4.22 亿元，同比增长 155%。
产能利用率逐年上升，核心产品接近满产。公司目前产能主要集中于沈阳原厂房， 其中工艺及结构零部件 2021 年理论产能约为 97.2 万小时，气体管路产品 2021 年产能约为 18 万件。随着行业景气度的不断上升，公司产能利用率提升迅速， 2019-2021 年公司工艺及结构零部件产能利用率分别为 62.7%/81.2%/90.2%， 气体管路产品产能利用率分别为 4.6%/23.3%/63.2%，公司工艺及结构零部件产 品产能利用率不断提升。
产品供不应求，产能有待进一步释放。为保证公司订单按时交付，公司将在南通、 沈阳、北京建设新厂房，并对沈阳老厂房进行扩产升级，预计未来公司工艺及结 构零部件将新增产能约 110 万小时，气体管路新增产能约 60 万件。南通厂目前 处于导入设备、调试阶段，预计于 2025 年实现完全达产，年产能规划 20 亿元； 北京厂预计 2027 年达产，年产能规划 20 亿元。随着公司产能的进一步增加， 预计未来公司的盈利空间将得到进一步的释放。
