本土量检测设备领军者，业绩稳步攀升。
国内半导体质量控制设备领军企业，专注检测、量测领域。中科飞测成立于 2014 年，自成立以来专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售， 产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维 形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内 28nm 及以 上制程的集成电路制造产线。公司自主研发针对生产质量控制的光学检测技术， 向集成电路前道制程、先进封装等企业以及相关设备、材料厂商提供关键质量控 制设备，助推下游客户提升工艺技术、提高良品率，实现降本增效。 近十年自研检测技术积累，检测量测产品系列不断突破。公司产品已广泛应用在 中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集 成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断 局面。同时公司不断进行技术更迭，助力国内集成电路产业领域关键产品和技术 的攻关与突破。
公司实控人为 CHENLU（陈鲁）、哈承姝夫妻二人，直接或间接合计控股 22.90%。 截至 2023 年 9 月 30 日，公司前三大股东分别为苏州翌流明、国投基金、小纳 光，持股比例分别为 11.81%、11.40%、5.89%。CHENLU（陈鲁）、哈承姝夫 妻二人共同持有苏州翌流明 100%股份，苏州翌流明为小纳光执行事务合伙人， 二人通过苏州翌流明对小纳光享有控制权，此外，哈承姝个人持有公司股份5.20%，因此 CHENLU（陈鲁）、哈承姝夫妇合计控制公司 22.90%股份，为公 司实控人。 两大分公司携手九大全资子公司，全面布局各地区业务。公司现有北京、苏州两 家分公司，分别负责技术开发、推广、咨询、转让等服务，以及光电自动化设备、 机电自动化设备、计算机及软件、工业自动控制系统等设备研发、销售与售后服 务。公司下设广州、厦门、北京、珠海、上海、成都、前海、香港、武汉九家中 科飞测全资子公司，各子公司独立开展光电子器件、半导体器件专用设备及其他 电子器件制造等业务，子公司地点覆盖全国各大主要城市，为公司未来市场拓展 奠定基础。另外，公司在香港子公司下设立了新加坡孙公司，计划未来进一步拓 展海外市场，形成国内+国外全方位销售格局。
公司管理层资历深厚且团队稳定。公司董事长陈鲁专业背景深厚，毕业于中国科 学技术大学少年班，物理学专业学士学位；美国布朗大学物理学专业，博士研究 生学位，曾任 KLA 资深科学家。公司核心技术人员均曾在中科院微电子所任职， 拥有深厚的专业背景，且自 2019 年至今公司核心技术团队未发生人员变动，团 队较为稳定。
公司营收高速增长。公司自 2018 年以来营业收入持续稳步增加，2020~2022 年 营业收入分别为 2.38/3.61/5.09 亿元，同比增速分别为 324.4%/51.8%/41.2%。 23Q1~Q3 公司实现营收 5.88 亿元，同比增长 128.0%，公司预计 23 年实现收 入 8.5-9.0 亿元，归母净利润预计为 1.15 亿到 1.65 亿元，公司收入、盈利大幅 提升。随着新产品验收通过、逐渐实现批量销售，公司营业收入有望持续快速增 长。
2022 年公司利润端承压，但 23Q1~Q3 归母净利润边际向好。公司 2018- 2019 年归母净利润为负数，2020 年起扭亏为盈、实现盈利 0.4 亿元。2021 年公司实 现归母净利润为 0.53 亿、同比增长 34.96%，22 年归母净利润为 0.12 亿、同比 下降 78%，主要系公司部分重点研发项目投入相对较大而公司营业收入规模相对较小，公司利润端短期承压。公司目前在研项目较多且进展较为顺利，随着新 产品推出、客户拓展顺利，公司利润端有望逐渐好转。23Q1~Q3 公司实现归母 净利润 0.79 亿元，同比增长 454.18%，盈利能力有所改善。 产品定位明确，检测设备量价齐升，量测设备销量向好。公司主营检测、量测两 大类半导体设备，产品专注光学技术路线，两大业务收入逐年稳步提升，2020~ 2022 年公司检测设备收入分别为 1.56、2.65、3.85 亿元，量测设备收入分别为 0.82、0.94、1.18 亿元。公司检测设备量价齐升，从 18 年的 5 台提升至 22 年 的 82 台，随着产品升级迭代、市场认可度提高，平均单价从 253 万元提升至 469 万元，收入从 20 年的 1.56 亿元快速增长至 3.85 亿元、CAGR 为 57.1%，量测 设备业务收入同期稳步增长，从 20 年的 0.82 亿元增长至 1.18 亿元、CAGR 为 20.0%，整体而言量测业务收入增速慢于检测设备。
两大产品毛利率同步走高带动总体毛利率稳步上升，保持高位。公司总体毛利率 水平稳步走高，从 2019 年的 33.90%提升至 23 年前三季度的 49.86%，提升了 15.96pct。公司两大产品毛利率整体上分别有所提升，检测设备毛利率从 18 年 的 30.90%提升至 22 年的 52.63%，提升了 21.73pct；量测设备毛利率从 18 年的 15.98%提升至 21 年 41.24%，增幅为 25.26pct，22 年量测设备毛利率有所 下降，主要受到产品单价下降的影响。
随着收入体量增大，公司各项费率有所下降，近年来逐步稳定。公司管理费率 2018-2019 年处在高位，分别为 111.92%、120.85%，主要系股份支付金额较 大，且公司规模较小，运营管理的支出较多。自 2020 年起，管理费率回归正常 水平，22 年降至 11.8%。公司销售费率也逐年稳步降低，自 2018 年的 28.1% 降至 2022 年的 10.6%，23Q1~Q3 销售费用率为 10.1%。研发费用率维持高位， 前期公司收入体量较小，18、19 年公司研发费用率分别高达 117.44%、100.01%， 2020 年收入放量，研发费率降至 19.43%，随着纳米图形检测设备、14-10nm 无图形检测设备研发持续展开，22 年材料费用大幅增加导致 22 年研发费用率增 至 40.40%，23Q1~Q3 公司研发费用率为 24.59%，有所下降。
