国内半导体检、量测设备龙头，卡位前道制造+先进封装。
中科飞测九大检/量测设备系列卡位前道制造+先进封装，三大良率管理软件全部 应用在国内头部客户。公司是国内半导体检、量测设备龙头，已量产检/量测设 备包括六大类，即无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度 量测设备、介质薄膜膜厚量测设备、金属薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设备， 已经在国内头部客户批量量产应用，市占率稳步快速增长；另外三大类设备完成 样机研发，其中明场纳米图形晶圆缺陷检测设备和光学关键尺寸量测设备已出货 客户开展产线工艺验证和应用开发，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备正在进行客 户样片的工艺验证和应用开发中，并与多家国内头部客户达成客户现场评估意向； 另外，公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在 不同应用领域的覆盖度。
2023 年全球检/量测设备市场空间达 128.3 亿美元，全球市场被美、日企业垄断。 根据 VLSI，2023 年全球检测、量测设备市场空间共 128.3 亿美元，其中检测设 备占比 67.9%，包括纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、图 形晶圆缺陷检测设备等；量测设备占比为 30.8%，包括关键尺寸量测设备、套刻 精度量测设备、薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设备等。检/量测设备在前道制程领域主要用于薄膜沉积、光刻、掩模、刻蚀、离子注入环节，在先进封装领 域主要用于 CMP、清洗、光刻、刻蚀、电镀、键合领域。2022 年国内半导体检、 量测设备市场空间预计为 40 亿美元，2023 年预计进一步提高。全球检、量测设 备厂商包括 KLA（科磊）、AMAT（应用材料）、Hitachi（日立）等，根据 VLSI 统计，2023 年全球前五大公司合计份额占比超 84%，均来自美国和日本，其中 KLA 和 Camtek 分别在前道和后道领域占据主要份额。
公司已量产和在验证设备覆盖的市场空间达 67%，工艺覆盖度不断提升。根据 公司 2023 年报，公司目前已经量产或正在验证的设备覆盖全球市场空间达 66.7%。公司收入主要来自无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、 三维形貌量测设备，新增长点来自光刻套刻精度量测设备以及金属/介质薄膜膜 厚量测设备，针对 2xnm 节点的明场和暗场设备正在客户端工艺验证，未来将进一步打开市场天花板，针对 1xnm 的设备也在布局中。
公司历年营收高速增长，无图形和图形晶圆检测设备贡献主要收入。公司营收从 2019 年的 0.56 亿元增长至 2023 年的 8.9 亿元，CAGR 近 100%；2023 年公司 订单持续增长，收入同比增长 75%；24Q1 公司实现收入 2.36 亿元，同比增长 45.6%。从产品结构来看，在 2022 年及之前，公司收入主要由无图形晶圆检测、 图形晶圆检测、三维形貌量测、3D 曲面玻璃量测四大类设备贡献，其中 2022 年检测和量测设备收入分别占比 75.6%和 23.2%。根据公司招股书，公司无图形 晶圆缺陷检测设备 600 款单价略超 300 万元，800 款单价超千万元；图形晶圆 缺陷检测设备单价大约 200-300 万元；三维形貌量测设备按型号区分分别为超 200 万元和超 400 万元不等。2023 年至今，公司套刻精度和薄膜膜厚量测设备 开始贡献收入新增长点，明场、暗场检测和光学关键尺寸量测设备完整样机研发 并在客户端验证顺利。
公司毛利率呈整体上升趋势，2023 年至今盈利能力同比明显提升。随着规模效 应逐步提升，公司毛利率整体呈上升态势，2023 年毛利率达 52.6%，超过 Camtek， 但与 KLA 60%的毛利率水平仍有一定差距，24Q1 实现毛利率 54.3%，进一步得 到提升；公司 2023 年之前一直亏损或小幅盈利，2023 年实现归母净利润 1.4 亿 元，扣非净利润 0.32 亿元，扣非净利率 3.6%，同比明显扭亏，24Q1 公司分别 实现归母净利润和扣非净利润 0.34 和 0.08 亿元。
公司发布 2024 年股权激励方案，彰显长期收入增长信心。根据公司 2024 年股 权激励方案设定的收入目标，2024/2025/2026/2027 年收入考核触发值分别不低 于 10.7/16/22.3/28.9 亿元，分别同比+20%/50%/39.4%/29.2%；收入考核目标 值分别不低于 11.5/17.2/24.1/31.3 亿元，分别同比+29%/49.8%/40.4%/29.8%。
伴随未来收入放量和产品拓展，公司盈利能力有较大提升空间。对比国内中微公 司、拓荆科技、盛美上海三家设备厂商来看，中科飞测毛利率要高于四家可比公 司，但扣非净利率明显低于可比公司，主要系中科飞测当前收入体量较小，规模 效应尚未体现。中微公司 2020 年收入为 22.7 亿元，扣非净利率达 10.3%；拓 荆科技 2022 年收入为 17 亿元，扣非净利率达 10.4%；盛美上海 2021 年收入为 16.2 亿元，扣非净利率达 12%，基本上收入体量需达到 15 亿元及以上，扣非净 利率能够保持 10%以上水平。考虑到中科飞测当前在手订单充沛，未来收入有望 快速增长，同时明场/暗场检测等更先进的产品放量将带来机台 ASP 提升，公司 规模效应有望持续显现，24Q1 扣非净利率仅为 3.6%，盈利能力有显著提升空间。
