国内涂胶显影设备龙头,产品打破国外垄断。
芯源微深耕涂胶显影设备领域多年,目前公司涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补 国内空白。在后道先进封装和 LED 芯片制造等环节已实现国产替代,前道涂胶显影设备 领域,目前国产化率依然较低,该市场长期被日本厂商垄断,芯源微是国内唯一可以提供 量产型前道涂胶显影机的设备商。
公司产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、 去胶机、湿法刻蚀机),可用于 6 英寸及以下单晶圆处理(如 LED 芯片制造环节)及 8/12 英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。 涂胶显影设备:公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商,经过长期 的技术积累和在客户端的验证及量产应用,目前已完成在前道晶圆加工环节 28nm 及 以上工艺节点的全覆盖,并可持续向更高工艺等级迭代。 单片湿法设备:目前公司产品主要包括去胶机、湿法刻蚀机、清洗机三种。
技术:多项核心技术已达到国际先进水平,持续推进产品迭代升级。通过多年的技术积累 以及承担国家 02 重大专项,公司已经成功掌握包括涂胶显影设备、单片式湿法设备等产 品多项核心技术,并形成了完善的自主知识产权体系,目前公司多项核心技术已达到国际 先进水平。产品迭代方面,公司持续推进产品向更高工艺等级迭代,以浸没式高产能涂胶 显影机为例,2023 年公司在平台架构及内部腔体单元上进行了进一步的优化和完善,全 新的热盘快速降温技术在热盘单元烘烤温度切换过程中实现了降温时间的大幅缩短,提升 了热盘处理效率,整机产能得到了提升;旋涂省胶技术应用了基于大量客户端量产数据模 型下生成的核心函数控制系统,实现了涂胶工艺中的光刻胶旋涂精准控制。
收入端:公司 2018-2023 年营收 CAGR 达 52.23%,营业收入快速增长。公司营业收入 由 2018 年的 2.10 亿元增长至 2023 年的 17.17 亿元,CAGR 为 52.23%。随着公司第三 代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构 FT300(Ⅲ)等重点产品在客户端的导入,未来公 司营收有望继续呈稳步提升趋势。营收占比方面,公司两大主营业务中光刻工序涂胶显影 设备占比高于单片式湿法设备,其中 2023 年光刻工序涂胶显影设备占比 62.09%,单片 式湿法设备占比 34.95%。24Q1 公司营业收入为 2.44 亿元,同比下滑 15.27%,主要由 于 24Q1 公司整体机台验收计划相对较少,出现季节性波动,其中前道产品收入保持高速 增长,后道先进封装和化合物领域由于 23 年新签订单有所下滑,24Q1 机台验收较少。 利润端:公司的归母净利润由 2018 年的 0.30 亿元增长至 2023 年的 2.51 亿元,CAGR 为 52.41%。24Q1 公司归母净利润为 0.16 亿元,同比下滑 76%,一方面由于收入端季节 性波动,另外公司员工人数增长、股份支付费用增长、增值税退税下降也对利润端产生影 响。

在零部件国产替代推进和规模效应的作用下,公司涂胶显影设备毛利率稳步改善。公司近 年来毛利基本稳定在 40%左右,其中 2021 年毛利率为 38.08%,同比下降原因主要系:1) 公司前道涂胶显影产品占比逐步提升,由于前道涂胶显影设备正在市场开拓阶段,毛利率 水平尚未稳定;2)2021 年供应链存在紧张的情况,原材料成本有所波动。目前公司前道 Track 产品随着机台的不断成熟以及零部件国产替代的良好进展和规模效应的体现,毛利 率水平稳步改善,2023 年公司涂胶显影设备毛利率同比增加 4.19 个百分点;前道清洗产 品整体毛利率水平较为稳定;在后道先进封装和化合物等小尺寸领域,公司将前道机台的 先进设计理念进行移植,该细分领域产品竞争力实现了进一步增强,毛利率水平持续良好。 2023 年公司毛利率为 42.53%,小幅回升。分产品毛利率方面,2023 年公司单片式湿法 设备与光刻工序涂胶显影设备毛利率分别为 46.37%、38.84%。
费用端:公司期间费用控制整体有效,高研发投入保障长期发展。公司期间费用率呈下降 趋势, 2023 年 公 司 销 售 费 用 率 / 管 理 费 用 率 / 研 发 费 用 率 / 财 务 费 用 率 分 别 为 8.27%/10.60%/11.52%/0.39%。研发费用方面,2023 年公司研发费用 1.98 亿元。目前公 司产品持续向更高工艺等级迭代,高研发投入为公司长期发展保驾护航。
在手订单充足,支撑业绩增长。2022 年随着前道设备快速放量,公司全年新签订单 22 亿 元,创下历史新高。2023 年公司全年新签订单与 2022 年基本持平,期末在手订单约为 22 亿元,可以对 2024 年业绩起到较好的支撑作用。新签订单方面,2023 年前道涂胶显 影机保持了良好的增长态势;前道清洗设备签单较为稳健;物理清洗机保持龙头地位,化 学清洗机有序突破,有望成为新的业绩增长点;后道及小尺寸签单受下游市场景气度影响 阶段性承压。