荷兰半导体设备企业之父,全球ALD/外延设备龙头。
ASM早期以CVD技术起家,后通过收购发展为全球ALD&碳化硅外延设备巨头。ASM的发展历史主要可以 分为四个阶段:1)欧洲半导体设备先驱(1960s):ASM于1968年在荷兰成立,是荷兰首家专注于半导体设 备研发生产的公司,成立之初,ASM最先进入CVD气相沉积炉市场;2)半导体设备帝国雏形(1970s-80s): 1970年后ASM开始拓张其业务版图,1975年ASMPT由ASM于中国香港成立,前者成为半导体后端键合机的 领导者,1977年ASM于纳斯达克证券交易所上市,1984年ASML阿斯麦由ASM和飞利浦合资成立,各自持有 50%股份,前者成为半导体光刻设备的领导者,同期为满足下游客户需求(美国的半导体制程和日本的微电 子/显示器制造),ASM America和ASM Japan成立,分别专注于硅外延和PECVD设备的研发;
3)全球ALD 设备龙一(1990s-2010s):1990年之后,ASM专注于ALD设备的研发与商业应用,公司于1994年和2004年分 别收购ASM Microchemistry(ALD设备研发) 和 ASM Genitech Korea(PEALD设备研发),2007年公司 Pulsar ALD 设备成为首个用于大批量制造使用新型铪基High-K介电材料器件的系统,并成为全球最大的ALD 设备供应商,市场占有率超五成;4)拓展碳化硅外延为第二增长曲线(2020s):2022 年公司收购位于意大 利LPE 公司,进军碳化硅外延设备市场,电动汽车市场的迅速扩大也成为该市场快速增长的主要推动力。
公司产品主要围绕ALD、外延两大设备领域布局,并在两个市场皆处于领先地位。(1)ALD设备:公司的 ALD沉积工艺主要可用于制造出材料质量优异、均匀性和一致性极佳的超薄薄膜。ALD沉积被认为是市场上 最先进的沉积方法,也是今年来晶圆设备市场增长最快的领域之一,而ASM作为全球第一大ALD设备供应商, 拥有市场上最广泛的ALD产品和应用。(2)外延设备:公司的外延工艺通过硅或硅化合物的沉积在衬底上形 成单晶薄膜,以改善硅片表面的电气特性。公司的外延技术包括硅外延和碳化硅外延两种,前者广泛应用于 高度复杂的半导体处理器及存储器件,后者则主要应用于电车动力设备。公司是全球第二大硅外延设备商, 全球第一大碳化硅外延设备商。
公司主要提供热ALD(T-ALD)和等离子体ALD(PEALD)两种ALD技术设备。(1)T-ALD:按沉积材料 的不同,公司的产品包括Pulsar(High-K)、Emer(Metal)、Synergis(Metal+金属氧化物)。Pulsar侧重于 使用固体原材料的高精度沉积,非常适合高k材料应用,特别是在3D晶体管结构中;Emer利用喷头式气体分 配在高纯度膜层应用中表现优异,适合需要复杂形貌的薄膜工艺; Synergis的反应腔室提供了低成本和单片晶 圆的高一致性,适合大规模生产场景中各种材料的T-ALD应用。(2)PEALD:按应用领域不同,公司的产 品包括Eagle、QCM。Eagle主要应用于多重图案化应用的低温间隔,而QCM则是用于先进节点存储器和逻辑 应用的高生产率。目前公司PEALD已能完成200:1的高深宽比氧化物沉积,助力TSV产业化。
从产品看,ALD设备占公司营收超五成,公司收购LPE后进军碳化硅外延设备市场。2023年公司营业收入为 26亿欧元,其中ALD是公司最大的主营业务,2023年收入约为13亿欧元,占比55%;硅外延是公司第二大主 营业务,2023年收入约为4亿欧元,占比14%。公司在收购LPE后成为全球第二大碳化硅外延设备供应商, 2023年碳化硅外延设备收入约为1.4亿欧元,占比5%。 从地区看,亚洲是公司长期最大收入来源。2023年亚洲地区销售达17.77亿欧元,同比+12%,占公司总营业 收入67%。