中国半导体量检测设备领军者。
深圳中科飞测成立于 2014年,于2023 年科创板上市。公司在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域积累深厚,专注于检测和量测两大类集成电路设备的研发、生产和销售。公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品,广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。

公司产品应用领域广泛。公司专注于高端半导体质量控制领域,主要产品涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。检测设备:公司检测设备的主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷;
量测设备:公司量测设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌、套刻精度等物理性参数的量测。在精密加工领域,量测设备主要功能是精密结构件的三维尺寸量测:
良率管理软件:公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上,形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品,这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能,形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环,为客户实现最大化的质量控制对良率管理的提升效果,
苏州翌流明为公司控股股东,公司实控人陈鲁、哈承姝夫妇及小纳光为一致行动人。苏州翌流明以 11.81%的持股比例成为公司第一大股东:并且通过担任小纳光执行事务合伙人、持有小纳光 1.47%出资额的方式实现对小纳光的控制。陈鲁、哈承妹分别持股苏州翌流明 69.00%、31.00%的股份,为公司实际控制人。
公司研发团队架构稳定,技术经验丰富。陈鲁曾任RudolphTechnologies(现创新科技)系统科学家、科磊半导体资深科学家、中科院微电子所研究员,现担任公司董事长、总经理。黄有为、杨乐等核心技术人员来自中科院,任公司首席科学家年限均超 10 年。
受益半导体设备行业国产化及自身竞争力持续增强,公司营收规模持续扩张。2020-2024 年,公司营业总收入由2.4 亿元增至 13.8 亿元,4 年复合增长率高达55.3%。公司营收高增,主要归因于:1)国内半导体检测与量测设备市场高速发展,下游客户设备国产化需求高增;2)公司关键核心技术持续突破,产品种类日趋丰富,市场竞争力逐步增强。从产品结构看,检测设备业务始终为公司营收主力,近4 年营收占比始终维持在 70%以上。此外,公司先进制程收入占比已超 50%,2024年公司前五大客户均为国内头部前道制程及先进封装企业。

公司毛利率水平保持稳定。2021-2024年,公司综合毛利率始终维持在50%左右。分产品看,2024年检测设备毛利率为52.5%,同比下降4.7pct。量测业务毛利率则始终保持平稳,近3年维持在 37%左右水平。
高研发投入是公司净利润波动的主要原因。2022年公司研发费用率达40.4%,是公司扣非归母净利润为负的主因。2023年,公司实现扣非归母净利润31693万元,实现扭亏为盈;该年公司研发费用率低至 25.6%,同比下降 14.8 pct。2024 年,公司研发费用率再度增至 36.1%,公司扣非归母净利润-1.2 亿元,同比减少 1.6 亿元。预计 2025 年公司研发费用增速会趋于稳定,研发费用率逐步降低,全年盈利水平有望改善。