行业持续高景气叠加国产替代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。5G、新能 源汽车等领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期，下游晶圆厂积极扩产带 动半导体设备市场快速增长，SEMI 预计 2021 年全球半导体设备市场规模同比增长 44.7%至 1030 亿美元，2022 年将增长至 1140 亿美元。
同时，成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产，中美贸易摩擦背景下设备国产 化趋势明显。2021Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长 29.4%至 72.7 亿美元，根 据 SEMI 数据显示，2021 年中国大陆成为全球第一大设备支出地区。
我们认为，以北方华创、中微公司为代表的国内半导体设备厂商加大产品开拓力度， 下游晶圆厂积极配合设备验证导入，半导体设备国产化加速，国产半导体设备厂商 份额有望持续提升。
1.1. 中微公司新签订单大幅增长，财务表现亮眼，股权激励彰显信心
订单大幅增长，产能扩张有望进一步打开订单空间。公司 2021 年新签订单金额达 41.3 亿元，同比增长 90.5%。此外，公司已开发出小于 5 纳米刻蚀设备用于若干关键 步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。中微产业化基地建设项目拟扩充 和升级的产品类别为等离子体刻蚀设备、MOCVD设备、热化学 CVD设备等新设备、 环境保护设备，相应产品的产能规划情况分别约为 630 腔/年、120 腔/年、220 腔/年、 180 腔/年，成长空间进一步打开。
业绩情况：2021 年公司营业收入为 31.08 亿元，同比增长 40%，其中刻蚀设备为主 要业务，收入占比为 65%；MOCVD 设备收入为 5.03 亿元，同比增长 1.53%，毛利 率达 33.77%，盈利能力大幅提升。
股权激励：2022 年 3 月公司发布股权激励草案，以 2021 年营业收入作为基数，2022- 2025 年分别设置了不低于 20%、45%、70%、100%的营业收入增长率考核目标，并 设置了阶梯归属考核模式，实现业绩增长水平与权益归属比例的动态调整。上述指 标在结合公司所处行业状况的基础上综合考虑了公司的历史业绩及未来发展规划， 有利于公司保持竞争力及战略目标的实现，彰显了管理层对公司发展的信心。
1.2. 中微公司注重研发，有差异化的产品优势，并能持续创新
公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至 2020 年 12 月 31 日，公司已申请 1755 项专利，其中发明专利 1517 项；已获授权专利 1092 项，其中发明专利 917 项。
刻蚀机领域：公司全球市场份额占比约在 1.4%左右，CCP 刻蚀设备已广泛的被国内 外客户广泛接受，已在 5 纳米器件上实现量产，并在 5 纳米以下器件的试生产上实 现了突破性的进展。ICP 刻蚀机进入市场后也已进入高速发展阶段，愈加被市场认 可。
在逻辑集成电路制造环节，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户 最先进的生产线上并用于 5 纳米及 5 纳米以下器件中若干关键步骤的加工；
1.3. 公司股权结构及发展历史
深耕芯片制造刻蚀领域，国内刻蚀设备龙头。公司专注于集成电路、LED 关键制造 设备，核心产品包括：1)用于 IC 集成电路领域的等离子体刻蚀设备(CCP、ICP)、深 硅刻蚀设备(TSV)；2)用于 LED 芯片领域的 MOCVD 设备。
目前公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳 米和 5 纳米的集成电路加工制造及先进封装。公司的 MOCVD 设备在行业领先客户 的生产线上大规模投入量产，已成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基 LED 设备制造商。
设备行业市场空间：据统计（大陆地区已公布投资扩产计划），国内 8 寸扩产总目 标达 144.74 万片/月，截至 2021 年产能达 89 万片/月，产能缺口 55.75 万片/月；12 寸扩产总目标达 205.3 万片/月，截至 2021 年产能达 58.8 万片/月，产能缺口 146.5 万 片/月；参考中芯国际披露临港基地产能规划及投资额公告，假设 8 寸每万片/月投资 额为 8 亿元、12 寸每万片/月投资额为 60 亿元；对应合计扩产需求达 9236 亿元人民 币。其中设备投资额占总投资额比重约 75%，对应设备市场空间达 6927 亿元。假设 扩产产能在 2022-2025 年的 4 年间全部落地，对应平均每年国内半导体设备市场空 间达 1732 亿元。
公司市占率：据 Gartner 数据，2017-2020 年中国大陆半导体设备市场规模分别为 974 亿元、1156 亿元、979 亿元、1153 亿元（按 6.7 人民币/美元汇率计算），2017-2020 年中微公司收入分别为 9.71、16.32、19.45、22.73 亿元，公司市占率分别为 0.99%、 1.4%、1.98%、1.97%，新签订单金额同比增长 90.5%达 41.3 亿元，市占率预计还将 进一步提升。
营业收入预测及关键假设：我们假设公司刻蚀机价格保持平稳，根据市场需求及公 司产能规划（2021 年刻蚀机出货量较 2020 年实现翻倍增长）预估，认为公司 2022- 2024 年刻蚀机预估出货量为 410 腔、600 腔与 740 腔。考虑设备零部件的国产化比 重不断上升，认为公司毛利率将持续上升。预计公司 2022-2024 年营收分别达 45.15/64.18/80.49 亿元，同比分别增长达 45.28%/42.14%/25.40%，毛利率分别为 43.20%/43.67%/44.27%。
专用设备（刻蚀设备+MOCVD 设备）业务：
a)刻蚀设备：半导体设备行业景气度高企，下游晶圆厂积极扩产，公司 CCP 刻蚀设 备业务继续保持现有市场领先地位，同时 ICP 刻蚀设备市占率有望快速提升（2021 年出货量同比增长 235%），同时中美贸易摩擦升级导致国产替代进程加快，国产化 率有望大幅提升，公司作为国产刻蚀设备龙头，大有可为；
b)MOCVD 设备业务：Mini LED 技术日趋成熟，下游 LED 芯片厂商积极扩产，公司 是氮化镓基 LED MOCVD 设备龙头，已收到来自国内外多家领先客户的批量订单合 计超过 100 腔，将持续受益于 MOCVD 设备市场规模大幅提升。
因此，我们预测 2022-2024 公司专用设备业务营业收入分别为 36.06/51.47/62.69 亿 元，同比增长 43.82%/42.72%/21.81%。
（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）
