2024年美埃科技专题报告:半导体空气过滤器壁垒深厚,美埃科技具备全球竞争力

1、什么是空气过滤器、化学过滤器、风机过滤单元

空气过滤器:空气过滤器是通过多孔过滤材料的作用从气固两相流中捕集粉尘,并 使气体得以净化的设备。它把含尘量低的空气净化处理后送入室内, 以保证洁净室的工艺要求和一般空调房间内的空气洁净度。根据 GB/T14295-2019《空气过滤器》、GB/T 6165-2008《高效空气过滤器性能试验方法效 率和阻力》及 GB/T13554-2020《高效空气过滤 器》,空气过滤器按过滤效率分为 6 大类,即初效过滤器、中效过滤 器、高中效过滤器、亚高效过滤 器、高效过滤器及超高效过滤器。 其中,初效过滤器对标准人工尘计重效率不低于 10%或对粒径 2.0 微 米以上尘埃粒子过滤效率不低于 20%,相当于 欧洲标准 G1~G4;中效、 高中效及亚高效过滤器对粒径 0.5 微米以上的尘埃粒子过滤效率介于 20%至 99.9%之间,分别相当于欧洲标准 M5~M6、F7~F8、F9~E11; 高效过滤器对粒径 0.3 微米以上粒子的过滤效率不低于 99.95%,相当 于欧洲标准 E12~H14;超高效过滤器对粒径 0.1 微米以上粒子的过滤 效率 不低于 99.999%,相当于欧洲标准 U15-U17。

风机过滤单元

风机过滤单元(FFU)广泛应用于半导体、生物制药、食品加工等行业的洁净厂房及 洁净室中,是洁净室空气净化的关键设 备。该设备主要用于洁净室的吊顶或洁净 区域的上方或侧面,搭配或内置高效/超高效过滤器,提供稳定的洁净气流,通过 气流的推出作用和稀释作用将室内污染物高效净化,从而达到高洁净度的要求。

化学过滤器

化学过滤器:主要通过滤料中的活性炭及其他特殊材料,对气态污染分子进行捕获,去除空气中的甲醛、VOCs、AMC、腐 蚀性气体等特定污染物。该类过滤器主要应用于洁净厂房的特定工序中(如芯片厂的酸洗、蚀刻等),去除生产工艺中产生的 气态分子污染物;也应用于机房与数据中心的防腐蚀控制,保护数据中心与机房控制设 备的稳定运行;此外在排气污染 控 制、商业楼宇和住宅中也有所应用。

半导体洁净室

洁净室是半导体行业制造环节中重要的一环,直接 决定了最终产品的成败。现代集成电路制造工艺已 经达到5纳米级别,集成电路的制造过程一般从自动 化软件把算法逻辑生成硬件电路开始,然后将集成 电路设计版图转印到光刻板上。集成电路的基础制 造材料是硅片,硅片经过各种表面处理后,与光刻 板一起经过包括光刻、热处理、介质沉积、化学机 械研磨等工艺最终形成集成电路芯片。如果生产过 程中空气洁净程度达不到要求,产品良率会受到很 大影响。

随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越 高。一般而言,当微粒尺寸达到集成电路节点一半 大小时就成为了破坏性微粒,对集成电路的制造产 生影响。比如,14纳米工艺中7 纳米的微粒就会影 响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高,目前 3 纳米的工艺已经开始研发,集成电路制造过程需 要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提 出越来越高的要求。

集成电路产业链几乎所有的主要环节,从单晶硅片 制造、到 IC 制造及封装, 都需要在洁净室中完成, 且对于洁净度的要求非常高。

2、空气过滤器行业市场广阔,美埃科技半导体领域积淀深厚

空气过滤器行业市场空间广阔

近年来随着芯片行业、液晶面板行业、生物医药行业及食品加工行业的产业升级、产品更新换代,大量企业新建高标准的洁净 厂房。根据沙利文数据,中国洁净室设备市场规模在2019年已超过900亿元,至2024年将超过1,400 亿元。 根据中研网数据,2019 年我国空气过滤器行业市场规模达到94.5亿元。随着经济结构的不断转型和对空气质量要求的不断提升, 对空气过滤器的需求会不断增加,预计2025年我国空气过滤器行业市场规模会达到150亿元(以 8%的增长率测算)。

半导体空气过滤器竞争格局:AAF和Camfil两大巨头

在洁净室过滤器领域,美埃科技主要的竞争对手包括国际品牌主要包括爱美克AAF、康菲尔Camfil。

爱美克:作为全世界最大的空气过滤解决方案制造商之一,其生产、仓储和配送设施及售后服务遍布四大洲 22 个国家。AAF 国际公司总部位于肯塔基州路易斯维尔市, 致力于通过开发和制造高品质的空气过滤器和过滤设备来保护人员、 工艺流程和系统。爱美克的母公司是位于日本大阪的大金工业株式会社,系一家多元化的国际制 造公司和全球领先的空调企业。爱美克主要产品包括空气过滤器、洁净设备、隔离防护设备、化学过滤器、 化学过滤设备等,其生产、仓储和配送设施及售后服务遍布四大洲 22 个国家。 爱美克于 2000 年进入中国,分别在苏州、深圳、武汉、台湾设立了 4 间工厂,总部位于苏州。截止2017年初,爱美克在全国共建立了14个销售办事处,2016年度 销售额达6亿人民币(含台湾地区 5,500 万人民币),销售网络覆盖全中国。

康菲尔:康菲尔集团总部位于瑞典斯德哥尔摩,是空气过滤设备和洁净空气解决方案的生产和研发领域的世界专业品牌。康斐尔在美洲、欧洲和亚太地区共设立了 28 家生产工厂,6 座研发中心以及遍及全球的销售公司。该公司主要产品有初中效过滤器、高效过滤器、FFU、高效送风口、生物安全过滤器、化学过滤器。根据康菲尔官方年 度报告的数据,康菲尔 2020 年遍布全球的 30 个营业部的销售额为 92 亿瑞典克朗,折合人民币约 73 亿元。

美埃科技:通过 20 多年研发投入和经验积累,公司与中芯国际、上海微电子等客户建立长期稳定合作关系。

空气过滤器行业壁垒深厚,美埃科技具备核心竞争力

在生产开始前,美埃科技依托于自身空气检测技术和长期积累的空气净化实施 经验,对客户的生产环境气体进行采样分析,结合原始空气污染物情况,以及 模拟 生产状态释气等复杂过程,确定净化产品所需的核心技术与最优解决方案 (如需采用的过滤器等级、是否搭载特定的化学过滤器等)。同时,依托于自 身材料改性技术、复杂工艺流程经验、特制加工设备能力等,综合考虑选材、 加工及后续使用过程产品自身的密封性保证及不得造成二次污染的需求,确定 产品的设计方案与具体工艺、性能要求,进而选取合适的材料(如选用不同型 号的玻纤或 PTFE等),以及定制开发所需的加工设备(如定制打折设备等)。

在生产过程中,美埃科技运用自研的“浸渍型化纤滤材改性技术”等专利技术,将自外部采购并不具备空气净化功能的材料,通过酸洗、改性溶剂配方、浸渍 比控制、震荡混合等18道工序,将无净化功能的材料进行活化与内部微孔改性,达到提升吸附量、靶向吸附、吸附空间、使用寿命等;运用自研的“高效、超 高效过滤技术”等专利技术,经过16道滤芯制作工序,生产强度高、密封性好、阻力低、气流均匀度好的滤芯;运用“一种高效率风机过滤器机组”等专利技 术,以及自研的特殊密封发泡热熔胶、快速零泄漏注胶等工艺,生产高效、低 阻、高强度的过滤器产品;综合利用“FFU 节能降噪和系统集成技术”等核心 技术,生产总静压较高、低噪音、耗电量较低的 FFU 产品。

在生产完成后,美埃科技利用专有的测试技术,对产品进行检测与质量控制, 实现产品全生命周期溯源管理,为半导体洁净室客户提供全方位针对性解决方 案, 保障客户洁净室达到半导体尖端制程环境对洁净空气度要求(达到去除最 小 0.1 微米细微颗粒物净化指标、小于 0.001 微米气态分子污染净化指标等极 高空气洁净度要求)。

3、美埃科技:中国半导体空气过滤器龙头具备全球竞争力

美埃科技成立于2001 年,二十余年以来始终聚焦于半导体、生物制药、公共医疗卫生等领域的工业级超洁净技术的研发和 应用,并将这一技术进一步转化应用于商用人居和工业除尘及 VOCs 治理等细分市场。公司专利数量、产品参数、品牌声誉、 市占率水平均领先国产厂商、对标海外龙头。公司立足于中国市场,不断向东南亚等半导体新兴产业区域布局,目前已经拥 有 7 个境内生产基地和2 个境外生产基地,客户覆盖中芯国际、 ST Microelectronics 等国内外半导体龙头厂商。2021 年底, 公司获国家级专精特新“小巨人”企业称号,成为国内电子半导体洁净室设备龙头。

成长逻辑一之空气过滤器:耗材属性,未来有望持续成长

空气过滤器具有一定的使用 寿命,需定期更换,否则将 影响其净化效力。从空气过 滤产品的整个运营寿命来看, 其生命周期成本包括过滤器 初始购买成本、过滤器更换 成本、能耗成本、人工及废 弃物处理成本。经过多年的 发展,公司与各领域的下游 客户大多建立了稳定的合作 供应关系,除了在洁净室首 次新建时的设备供应外,公 司不断为客户提供后续过滤 器设备的替换,存量替换为 公司发展的稳定性与可持续 性提供了有力支撑。

成长逻辑二之出海:未来海外收入占比有望持续提升

目前公司正在积极开拓海外市场, 2020年-2022年海外收入3年CAGR增 速接近50%,2024年新签订单海外 占比约为15%-20%,海外市场增速 很快,客户主要分布在东南亚,其次 欧洲、南亚和中东地区的销售业务也 在持续增长。未来公司将继续开拓北 美和加强欧洲以及中东市场的销售布 局,实现全球化的销售体系。公司加 速布局东南亚等海外市场,进入核心 国际客户供应链。公司已经通过了多 个国际著名厂商的合格供应商认证, 如半导体芯片厂商、新能源光伏厂商 等并且已开展商业实质业务。著名厂 商的认证有望为公司带来海外发展的 便利,有助于公司加速入库其他国际 著名厂商的全球业务。

报告节选:


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