北交所科技成长产业跟踪第九十二期：中科仪真空泵对标Edwards加速国产替代，北交所真空泵产业链全梳理.pdf

全球半导体晶圆需求正处于稳步扩张周期，干式真空泵作为集成电路制造中获取、改善和维持洁净真空环境的核心部件，迎来了明确的增量空间。据Omdia与McKinsey数据，2024年全球半导体晶圆需求（300mm等效口径）为1.14亿片，预计2030年将增至1.69亿片，年均复合增速约7%，其中HBM晶圆需求增速预计高达32%，先进制程与EUV光刻技术的应用进一步推高了真空工序的数量与技术门槛。

当前全球半导体真空泵市场由Edwards长期主导，市占率约80%。其母公司Atlas Copco已构建起“场景多覆盖+软硬一体化”的真空产品矩阵，涵盖半导体Subfab、洁净室、工业通用及科研四大场景。2026年上半年，Atlas Copco真空技术业务营收达133.55亿元，同比增长5.88%，营业利润率回升至20.77%，电子行业订单占比约60%。

北交所真空泵产业链共涉及5家企业，分别为中科仪（干式真空泵）、坤博精工（晶体生长真空炉体）、连城数控（单晶炉）、丰光精密（真空泵主轴）和腾信精密（高端设备精密零部件）。其中，中科仪以罗茨干泵为核心产品，直接对标Edwards。公司研制的L、M、H三大系列近四十款型号产品，分别覆盖半导体的清洁、中等和苛刻工艺流程，并已适配ASML、AMAT等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台。2026年上半年，中科仪干式真空泵实现收入4.24亿元，占总营收约68%，毛利率为25.11%；公司整体营收6.23亿元，同比增长8.52%，扣非归母净利润6106万元。

报告同时跟踪了北交所科技成长板块的运行情况。2026年9月14日至9月18日期间，188家核心标的区间涨跌幅中值为+0.80%，上涨公司占比66%。行业分布上，电子设备产业市盈率TTM中值升至40.7X，信息技术产业升至41.5X，新能源产业降至30.7X。企业公告方面，并行科技签署了总额不超过19.13亿元的五年期GPU算力服务合同，新芝生物则因市场环境变化终止了重大资产重组事项。