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中科仪新股报告：聚焦真空核心设备，自主创新驱动长期发展。真空装备领域国内龙头企业。中科仪成立于 2001 年，公司是中国领先的半 导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真 空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司依托中 科院技术底蕴，承接多项国家级科研专项，成功实现国产干式真空泵在集成电 路领域的规模化应用，破解半导体关键部件“卡脖子”难题。公司服务国家大 科学工程，是同步辐射光源、粒子对撞机等重大科技基础设施的核心真空部件 供应商，技术水平对标国际头部企业。国科控股为实控人，国家集成电路基金 战略持股，股权结构稳定。下设三家全资子公司，聚焦干式真空泵的研发、生 产与全周期技术服务，形成完整产业布局。

营收利润稳步增长，研发投入比重增大。2025 年公司实现营业收入 12.91 亿 元（+19.30%），实现归母净利润 8.44 亿元（+337.77%），盈利能力总体稳 定。2025 年公司毛利率为 26.78%，净利率为 65.35%，费用管控成效显著。 公司持续加大研发投入，2024-2025 年研发费用维持在 1.1 亿元以上，组建多 学科复合型研发团队，搭建真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装 置工程技术研究中心等多个国家级创新平台，掌握干泵测 试、精密加工等八大 核心技术，推动半导体真空装备关键技术成果快速落地并实现国产替代突破。

半导体产业蓬勃发展，真空核心设备需求释放。全球干式真空泵市场稳步增 长，国内受益于半导体、光伏等泛半导体产业扩张，国产替代进程加速推动行 业规模扩容。我国集成电路产能扩张、光伏技术升级及国家重大科技基建建设， 带动对真空装备的高品质、多样化需求提升。公司是国内唯一实现集成电路全 工艺、先进制程干式真空泵批量应用的龙头，凭借技术、产能与本土服务优势， 覆盖主流晶圆厂及顶尖科研院所，合作关系稳定。在国际巨头主导的格局下， 公司依托国产替代红利持续提升份额，行业成长动力充足。

募投项目主要围绕主营业务进行的产能扩张项目。 公司拟使用募集资金 82548.33 万元，主要用于干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研 发中心建设、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发。项目紧扣主营业务， 将进一步扩大核心产品产能、丰富产品结构，提升研发创新能力，优化产能区 域布局，降低物流成本，巩固市场领先地位，具备充分的必要性与可行性。