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半导体零部件行业深度报告：高景气上行+国产替代共振，看好零部件大级别行情。海外零部件环节显著领涨，A股具备更强的产业逻辑。1）截至2026年2月22日，UCT/MKS/VAT/大和热磁年初以来涨幅为134%/62%/38%/28%，存储相 关核心资产SK海力士/LAM/KLA涨幅为55%/43%/23%，海外零部件环节涨幅出色，领涨半导体相关资产，底层原因在于高强度扩产下零部件迎来上行拐点 ，弹性出色；2）自主可控叠加全球存储周期驱动，中国大陆先进存储+逻辑扩产强度一定强于海外，此外供应链加速国产化，A股零部件更具成长弹性。 2025Q3末北方华创、中微公司存货周转天数分别为463、420天，或已处于历史较低水平，我们判断随着扩产订单逐步落地，设备商有望加速补库。

综合股价涨幅&估值来看，A股零部件存在一定低估。零部件/前道设备/后道测试机近120日涨幅为42%/77%/153%，年初至今涨幅为23%/22%/53%，其 中零部件板块内有所分化，龙头公司表现出色，但整体仍跑输其他环节。进一步对比海外：1）海外零部件近120日涨幅翻倍以上、年初以来涨幅接近70%， 更重要的是估值持续新高，板块2026年对应PE均值拔至89X（长期为10X-20X的周期股定价）；2）目前A股零部件公司2026年对应PE均值为51X（历史中位 水平），2025-2027年营收/利润CAGR为33%/214%，考虑成长性显著强于海外，A股零部件股价&估值存在一定低估。

零部件市场够大但高度细分，赛道天花板+国产化率是核心思路。我们预计2026年国内半导体零部件市场规模超1600亿元，整体市场空间广阔，但赛道高 度细分+专业化，导致零部件企业小而美居多，少有赛道可以孕育出大体量公司。复盘全球前十大零部件龙头公司成长，主要来自气/液路、真空系统、电气 类等赛道，结合当前国产化率水平，我们筛选以下核心方向：1）金属件：主要为结构件和工艺件，先进制程国产化率存在预期差；2）陶瓷件：主要为陶瓷 加热器和静电卡盘，存储核心耗材，受益存量增长+日系垄断；3）射频电源：3D堆叠带来量价齐升，目前为美系MKS、AE垄断；4）气/液路：主要为 Gasbox、真空泵、阀门、喷淋头等，少有超300亿市场的大赛道，且Gasbox、高端阀门等国产化率仍不到10%。