MEMS瑞典产线发展状况如何？

瑞典产线（FAB1 & FAB2）：工艺开发服务和小规模量产 有机结合的精品 MEMS 产线

瑞典产线依托长期工艺开发经验获得大客户青睐，下游市场需求持续爆发，工艺开 发业务高景气势头有望延续。 瑞典 FAB1&FAB2 以 6 英寸产线主攻工艺开发，8 英寸 产线主攻量产的方式，在瑞典 Fab 工厂同步运行。代表性产品包括新型 MEMS 惯性器 件（用于 AR/VR 等领域）、MEMS 硅光器件、新型 MEMS 医学器件（微流控）和传统 医学压力传感器。2021 年公司来自 AR/VR、硅光、光刻机三家厂商收入占比工艺开发 的 63%，收入 1.88 亿元，三家客户的平均毛利率近 70%。 AR/VR 需求激增带动工艺开发营收大幅提升，是公司工艺开发第一大应用领域。 公司 2021 年工艺开发总收入中 25.06% 来自 AR/VR 客户贡献，主要来自对 MEMS 惯 性器件的开发，较上年同期增长 30 倍。随着 AR/VR 市场需求的增长，未来对工艺技术 开发的迭代和需求有望持续。根据 IDC 的数据，AR VR 设备出货量将从 2021 年的 1120 万台，提升至 2026 年的 5050 万台，复合增速为 35%。AR/VR 设备的持续放量，将带 动 MEMS 器件的迭代开发，未来有望继续保持在该领域的增长势头。

硅光需求强劲，公司和硅光子领域新兴公司开发高度通用的第三代硅光子学平台。 硅光芯片在保持光器件高灵敏度的基础上兼具低成本、低功耗、高速、超小型化和超轻 超薄等独特优势。主要应用领域涉及电信、数据中心、超级计算等领域。硅光芯片增长 强劲来自数据中心对高速光模块需求。根据 Gartner 的数据，到 2025 年，基于硅光芯 片的应用规模将达到 26.15 亿美金， 2020-2025 年复合增速达到 38%。到 2025 年，硅 光模块总和市场规模将达到 18.91 亿美金，占据硅光芯片应用的近 72.3%。同时硅光技 术在光模块中的总体应用占比将从 2020 年的 5.7% 提升至 2025 年的 15% 以上。硅光 需求持续增长，未来有望带动 MEMS 硅光工艺开发持续放量。

光刻机是芯片制造核心设备，公司是全球领先的高端光刻机厂商核心部件供应商。 根据公司 2020 年度创业板定向增发募集说明书中披露，公司主要为该公司提供高端光 刻机中核心透镜系统零部件，该光刻机客户为目前全球绝大多数半导体厂商提供光刻机 设备。以 ASML 为例，ASML 在 2021 年合计出货 309 台，占比全球出货量的 65%，在 全球高端光刻机 EUV 方面，ASML 为独家供应商占比 100%。未来随着晶圆厂扩产，对 光刻机需求会进一步提升，公司有望持续完成该龙头企业微镜技术开发迭代任务。

MEMS医疗压力传感器微型化实现对患者术中术后监测需求，公司产品曾获得FDA 认证。 Silex 开发的经 FDA 认证的医学压力传感器通过导管和导丝的结合，植入疑似 病变的血管中，用于术中或术后长期压力监测。与传统血压监测系统相比，使用 MEMS 压力传感器成本低。MEMS 压力传感器的微尺寸（0.1x0.1x1.3 毫米）满足细血管和复 杂的狭窄病变对压力传感器微型化的需求，占用较少空间且不会阻挡医生的视线。MEMS 压力传感器通过周围流体的压力对组织类型和位置进行分类，拾取电信号来识别，提供 外科医生在手术过程中所需的实时反馈数据，监测患者的生命体征。 MEMS 压力传感器是 MEMS 医学应用第一大市场，占比医疗 MEMS 市场的 37.4%。 根据 Yole 的数据 MEMS 医学电子市场将从 2018 年的 6.7 亿美金，提升至 2025 年的 10.95 亿美金。19-26 年复合增速为 7.5%。预计 2022 年 MEMS 压力传感器为 MEMS 医疗应用第一大市场，占比 37.4%。从商业价值来看，医疗电子上的 MEMS 器件附加 值较高，平均售价高于其它 MEMS 领域。

MEMS微流控是医疗 MEMS领域第二大应用，是公司新兴医学器件工艺开发产品， 公司和全球龙头合作未来市场空间广阔。随着市场对基因组学和 DNA 测序需求的不断 增长，MEMS 微流控领域持续增长，DNA 测序通过对活体生物进行全面分析，有助于 了解其功能和特性，具有开发个性化药物的潜力。未来在农业种业领域，基因测序也有 巨大市场空间。随着检测成本的持续下降，未来将实现广泛的办公室和居家测试。公司 2021 年在微流控代工领域实现营收近 1900 万美元，市场占比近 5%。 Silex 微流控产品主要布局 DNA 测序领域，下游客户是该领域龙头企业。DNA 测 序领域门槛高，以 Oxford Nanopore（ONT）为例，其是第一个也是仅有唯一一家实现 纳米孔测序商业化的公司，专利申请数量在欧美市场占比高达 49%。根据 Yole 的数据 统计和预测，预计到 2024 年 ONT 的测序机器装机量将达到 2.8 万台，占全球测序设备 的 43%，排名全球第一。未来随着 DNA 测序设备持续放量，MEMS 微流控需求有望显 著提升。基因测序供应商进入壁垒高、客户粘性强，公司产品已成功导入全球主流 DNA 测序厂商，同时也参与客户新一代产品研发。