微导纳米业务增长点在哪？

持续提升 ALD 市占率，布局 CVD 打开增长空间。

1.ALD:国产 ALD 龙头，份额有望持续提升

公司为国产 ALD 龙头，持续开拓国内知名大客户。公司开发了国产首套成功应用 于 300mm 晶圆 28nm 节点集成电路制造前道生产线的 High-k 量产型 ALD 设备，打 破了该工艺技术被国外厂家垄断的局面。公司半导体 ALD 设备发展迅速，自首套 设备实现销售（2021 年）至今，在较短时间内已取得逻辑芯片领域的重复订单， 并在先进存储、化合物半导体等多个半导体细分应用领域获得多家知名半导体公 司的商业订单。2023 年，公司部分半导体设备成功进入数家行业知名客户产线并 实现客户端工艺验证，客户数量进一步增加，已覆盖逻辑、存储、硅基 OLED 和第 三代半导体等细分领域。其中，存储领域客户拓展取得显著成效。

核心技术团队产业背景丰富，产品性能初步媲美国际大厂。半导体是典型的技术 密集型行业，技术创新最核心的要素是人，公司以业内资深专家为核心，积极引 入和培养一批丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师，其中，公司 CTO LI WEIMIN 和联席 CTO LI XIANG 在顶尖的 ALD 设备大厂 ASM 或 Picosun（被 AMAT 收 购）有管理层和技术研发的工作经验，公司团队背景十分扎实。公司坚持自主研 发，已经形成原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备 工艺反应气体控制技术等多项核心技术。目前，公司实现销售的半导体 ALD 设备 关键性能参数（包括设备产能、机台稳定运行时间、平均故障时间、平均破片率 和平均修复时间等）已经达到国际厂商同类设备的水平。

持续开拓新品，订单高速增长，市占率预计持续提升。依托核心技术，公司不断 开拓新产品，并不断取得客户订单，从 2022 年 6 月末-2023 年 6 月末，每过半 年，公司在手订单翻倍以上增长。2023 年业绩预告显示，2023 年公司在半导体 领域的新签订单是 2022 年的 3.29 倍。高速增长的订单表明下游客户对公司产品 的认可，饱满的在手订单为后续业绩增长奠定基础，公司在 ALD 领域的龙头地位 有望得到进一步强化。

2.提升公司产品的产线覆盖度，储备新一代电池技术相关产品

公司 ALD 核心技术过硬，与业内龙头形成长期合作，在手订单快速增长。根据公 司公告，2020-2022 年公司在光伏 ALD 细分领域均为行业第一，2023 年继续保持 行业领先。得益于公司在 ALD 领域的技术积累和逐步丰富的产品矩阵，公司已经 与国内诸多龙头形成长期合作关系，包括通威、隆基、晶澳、阿特斯、天合光能 等。此外，公司订单增长迅速，2022 年前三季度公司首批应用于 TOPCon 电池的 专用设备取得客户验收，2022 年末在手订单接近 20 亿元，2023 年新签订单为 2022 年的 2.92 倍。公司在手订单饱满，有望为后续的业绩增长提供有效支撑。

创新性布局整线交付，积极储备、交付新电池技术相关产品。公司于 2022 年推 进实施以 ALD 技术为核心的 TOPCon 电池工艺整线策略，可以提高公司产品在产 线投资中的占比，且其开发的首条业内 GW 级 TOPCon 电池工艺整线项目于当年通 过验收。2023 年又推出全新的 TOPCon 2.0 整线工艺技术，公司实现了对 TOPCon 产线真空类设备的全覆盖，产品种类、价值量显著提高。同时，公司跟随下游厂 商的量产节奏，持续优化 XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术， 在 TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层电池均有产品储备、布局和出货，爱旭和 隆基已投产和拟投产的电池产线中，公司ALD产品占比保持领先，在钙钛矿领域， 公司已经获得了国内客户的百兆瓦级量产设备订单。

3.依托核心技术，积极探索 ALD 在新兴领域的应用

公司积极探索 ALD 在新兴领域的应用。公司第一台新兴领域的设备为 iSparol 卷 对卷柔性封装系列，该系统使用 ALD 卷对卷高阻隔膜技术，可保障高产能，满 足稳定量产需求，同时具有薄膜厚度精确可控、保形性较好、成分可控等优点， 成功实现了在宽幅柔性基材上制备高阻隔膜及其他功能薄膜，可为柔性电子材料 提供高质量、高经济效益的封装薄膜。该款设备的首台销售实现于 2022 年，收 入约1770万元。截至2023年上半年，公司用于高端装备的微纳制造镀膜的iTomic MW Lite 批量式轻型系列原子层沉积镀膜系统在进行产业化验证。2024 年 1 月，公司创新研发的 ALD 量产设备顺利发往欧洲某头部芯片制造客户，专用于其新型 车载芯片的生产制造，标志着微导纳米推动 ALD 技术在新兴产业领域的应用又取 得新的突破。公司依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应 用领域的发展机会，有望对营收形成一定的补充。