微导纳米股权结构、主要产品及经营状况如何？

深耕原子层沉积技术，半导体、光伏领域双突破。

1.以原子层沉积技术为核心，产品覆盖三大领域

以原子层沉积技术为核心，产品应用领域不断拓展。微导纳米成立于 2015 年 12 月， 主要从事先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售。公司起家于光伏设备， 逐步实现半导体、柔性电子设备领域突破：在光伏设备领域，公司突破 ALD 沉积速度慢的 桎梏，全球首创将 ALD 技术规模化应用于光伏领域，在 PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿 领域均实现出货；在半导体领域，公司是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉积设备应 用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，产品可应用于逻辑、存储、化 合物半导体、先进显示等领域；在柔性电子领域，自主研发的卷对卷柔性电子设备已实现 产业化应用。

公司实际控制人为王燕清家族，核心技术人员及员工持股绑定公司发展。王燕清、倪 亚兰、王磊组成的家族间接控制公司 60.60%的股份，系公司实际控制人，王燕清、倪亚兰 系夫妻关系，王磊系王燕清、倪亚兰之子。同时王磊担任公司董事长、倪亚兰担任公司董 事。公司创始人兼核心技术人员 LI WEI MING、LI XIANG 持股合计 13.86%，持股比例较 高。聚海盈管理为公司员工持股平台，管理合伙人共 26 名，合计持有公司 8.32%股权。公 司高管与核心人员专项资产管理计划（微导 1 号、微导 2 号）合计持股 0.88%。

公司产品主要包括半导体设备、光伏设备和柔性电子设备三大类。 半导体设备：公司半导体 ALD 设备可应用于逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等 领域。凤凰（P）系列原子层沉积镀膜系统 HfO2 工艺已在 28nm 量产线实现产业化应用， 并取得客户重复订单。ALD 设备沉积的 HfO2、ZrO2、La2O3 以及互相掺杂沉积工艺可用 于新型存储器（如铁电存储 FeRAM）芯片的电容介质层，沉积的 Al2O3、TiN、AlN 可用 于化合物半导体、量子器件的超导材料导电层等，上述应用均已完成客户的试样测试并签 署订单。

光伏设备：公司光伏设备产品包括 ALD、PECVD、PEALD 二合一设备和扩散炉系 统，可应用于新型高效电池制造，并可提供 TOPCon 整线解决方案。 夸父（KF）ALD 系列主要用于氧化铝薄膜的沉积（PERC 背面和 TOPCon 正面均需沉 积氧化铝薄膜）；夸父（KF）PECVD 系列主要用于氮化硅薄膜的沉积（PERC 和 TOPCon 减反层）；祝融（ZR）PEALD 系列集成了 PEALD 和 PECVD 技术，同一台设备可完成于 氧化铝、氮化硅镀膜以及 TOPCon 电池隧穿层、掺杂多晶硅薄膜沉积；羲和（XH）系统可 用于 TOPCon 中磷扩、硼扩、氧化和退火工艺。

柔性电子设备：FlexGuard（FG）系列卷对卷原子层沉积镀膜系统，主要在 OLED 等 先进显示技术的柔性电子材料上进行真空镀膜。公司 ALD 设备可实现在大幅宽材料表面沉 积高性能阻水阻氧层，有效保护 OLED 器件性能和寿命。该设备已通过客户验证并获得客 户重复订单。

2. 光伏设备贡献主要营收，半导体业务逐步放量

公司营业收入主要来源于光伏设备，产线拓宽带来营收多样化。1）分产品来看，光 伏设备为公司近年来贡献主要营收，2018-2022H1 收入占比分别为 93%、94%、96%、64% 和 92%。光伏设备从 ALD 设备拓展至 PECVD、PEALD 二合一平台设备，产品线不断丰 富。2）半导体设备已实现营收突破，2021 年、2022H1 收入占比分别为 6%、3%，半导体 High-k 介质层镀膜设备、真空传输系统已获客户验证并实现营收。3）2021 年配套产品及 服务收入增长较快，主要原因是光伏电池硅片大尺寸化、公司臭氧工艺的推广及新工艺的 开发应用带动配套产品及服务业务收入大幅提升。

公司客户集中度较高，通威为近三年第一大客户。2019—2022H1，公司前五大客户销 售额分别为 13,222 万元、29,893 万元、35,988 万元、14,435 万元，占比 61%、96%、 84%、93%，其中 2019-2021 年通威太阳能为公司第一大客户，占比 21%、63%、28%。公 司在光伏行业实现了较高的客户覆盖率，并积极拓展半导体行业和柔性电子领域客户。

光伏客户资源丰富，优势有望延续至新型高效光伏电池技术。公司凭借 ALD 设备的 先进性，获得通威、隆基、晶科、晶澳、润阳、爱旭、天合光能等多个客户订单。基于良 好的客户基础，公司在新型高效电池领域客户拓展顺利，截至 2022 年 6 月，公司已签署 TOPCon 等相关新型高效电池订单近 50GW。根据公司 2022 年 1-6 月参与招投标项目统 计，在已开标的 TOPCon 和背接触电池（基于 IBC 的电池结构）产线中，公司 ALD 设备 中标的产线规模占比均达到 75%。HJT 电池方面，公司正在研发采用 ALD 技术实现 TCO 薄膜的制备，也在依托 ALD 技术开发沉积新型 TCO 薄膜的设备，例如采用 AZO （ZnO:Al）等资源储量丰富的薄膜材料制备 TCO 薄膜，以改善目前 HJT 电池的生产技 术、降低 HJT 电池片生产成本。

3. 研发团队实力强劲，布局新产业应用未来可期

高管团队产业经验丰富，核心技术团队引领公司研发。总经理 ZHOU REN 曾任职于 Novellus、LAM、KLA 等顶级国际半导体公司及中微、拓荆等国内半导体设备公司，管理 经验丰富。副董事长兼首席技术官 LI WEI MIN 具有 25 余年原子层沉积技术研发经验，为最早研究 ALD 技术华人之一，先后任职芬兰 ASM、Silecs、Picosun 等知名国际半导体公 司。董事、副总经理 LI XIANG 拥有 10 余年半导体器件制造和工艺研发经验，曾就职于新 加坡 IME、Picosun、GF。副总经理胡彬曾任先导智能工程副总经理，光伏行业经验丰富。 除 LI WEI MIN、LI XIANG 外，公司核心技术团队中许所昌曾任职中芯国际，半导体产业 经验丰富；吴兴华曾任职台湾工研院、昱晶能源、中来光电等公司，光伏产业经验丰富。

研发团队专业储备深厚，产线验证经验丰富。自成立以来，公司以海内外专家为核 心，积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师，形成了跨专 业、多层次的人才梯队，不断助力下游应用领域关键产品和技术的攻关与突破。截至 2022 年 6 月 30 日，公司研发人员共有 206 名，占公司员工总数的 25.5%。截至 2022 年 11 月，公司已取得 97 项国家授权专利，其中发明专利 14 项、实用新型专利 74 项、外观设计专利 9 项，软件著作权 19 项。 持续高研发投入提升核心竞争力，加大新技术布局。公司成立以来，不断加强研发投 入，2019-2022 年前三季度研发费用 3109/5373/9704/9355 万元，研发费用率 14%/17%/23%/24%。公司高度重视半导体及光伏技术研发，积极布局柔性电子、新能源电 池等新技术，2022 年 1-6 月半导体领域研发投入占比为 55%，在研项目包括半导体制造 ALD 设备平台、尖端存储器件 ALD 设备工艺及研发、先进化合物半导体及微机电关键工 艺研发等；光伏领域研发投入占比 35%，主要投向 TOPCon、xBC、叠层电池等光伏新技 术。

4.收入规模快速增长，在手订单充足业绩高增可期

受益于下游扩产及产品线拓宽，公司营收快速增长。2018-2021 年，公司营收由 4191 万元增长至 4.28 亿元，年化复合增长率 117%。2022 年前三季度，公司实现营收 3.85 亿 元，同比增长 66.8%，主要系公司电池设备销售收入取得增长、首批应用于光伏 TOPCon 电池的专用设备取得客户验收，并在柔性电子领域实现 ALD 设备销售。随着公司光伏、半 导体、柔性电子等更多产品在客户端取得验证，公司收入有望继续增长。 2018-2022 前三季度，公司归母净利润分别为-2827、5455、5701、4611、-325 万元， 利润水平有所波动。2022 年前三季度净利润下降主要系公司收入结构变化导致主营业务毛 利率有所波动，且设备产品验收周期长，导致收入确认与因订单增加而相应增加的管理、销售费用周期不一致，以及公司持续加大研发投入，导致研发费用增加所致。预计随着公 司营收增长及规模效应下费用率下降，公司利润有望修复。

毛利端：产品线逐步稳定，预计未来毛利率稳中有升。2019-2022 前三季度，公司业 务毛利率分别为 54.0%、51.9%、45.8%、37.1%。2021 年公司主营业务毛利率同比所下 降，主要系夸父（KF）管式 PECVD 系统 、祝融（ZR）管式 PEALD 系统于 PERC 技术路 线的应用在市场上已存在成熟的竞争方案 ，参考市场水平定价，毛利率偏低。2022 年 1-9 月，公司主营业务毛利率较 2021 年有所下降，主要系公司毛利率较高的配套产品及服务 （主要为设备改造业务收入）占比由 2021 年的 29.71%下降至 3.62%，从而导致主营业务 毛利率较上年有所下降。 费用端：高研发费用导致期间费用率较高。2022 年 1-9 月公司期间费用率 39.9%，主 要是公司在 TOPCon、xBC 等光伏新型高效电池和半导体各细分领域的产品、技术方面持 续加强研发，因此扩充了管理、销售、研发等人员，导致期间费用较上年度同期大幅增 长。未来随着营收的增长，规模效应下公司期间费用率预计下降，盈利能力有望提升。

合同负债及存货高增长，在手订单充足业绩成长性高。2022 年 9 月末，公司合同负债 和存货分别达到 4.4 亿元和 7.6 亿元，较 2021 年末增长 3.2 亿元和 3.6 亿元。公司主要产品 在光伏、半导体、柔性电子三大应用领域均实现了产业化应用，在手订单充足。截至 2022 年 9 月末，公司在手订单 19.75 亿元，其中专用设备在手订单合计 18.56 亿元，设备改造业 务在手订单合计 1.15 亿元。