中科仪：中科院真空设备龙头，半导体+光伏双驱高增长

中科院背景真空设备领军者，产能释放迎增长

中科仪（920186.BJ）主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。我们看好公司募投放量，同时下游需求增加，预计公司2026-2028年的归母净利润分别为2.26/2.64/3.14亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入），对应EPS分别为1.01/1.18/1.40元/股，对应PE为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。

集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增

公司的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率为16.03%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。

国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，打入国际晶圆大厂供应链

公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。