2026年中科仪公司研究报告：国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人

估值分析

公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。2023-2025 年公司干式真空泵累计销售收入占累计营业收入比例接近 70%、面向集成电路客户的干式真空泵累计销售收入占干式真空泵累计销售收入的比例超过 80%，选取集成电路设备制造企业作为同行业上市公司进行比较。考虑到所处细分行业、主营产品及应用领域的相似性，同时结合信息的可获得性，选取拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备作为可比公司。

中科仪营收、净利润规模较小，不过具备一定成长性。中科仪2025 年实现营业收入12.91亿元，不过公司近三年营收复合增速约为 22.75%；公司 2025 年实现归母净利润8.44亿元，处于行业中下游，近三年复合增速为 19.23%，若剔除公允价值变动等非经常性损益影响，公司2025 年扣非归母净利润为 1.03 亿元，近三年复合增速为 18.52%，处于行业中游。

由于产品结构的差异，公司与可比公司毛利率存在差距。公司2023-2025 年综合毛利率分别为 33.02%、29.44%以及 26.78%，低于同行业上市公司，主要原因是同行业上市公司中拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司均从事半导体核心设备的研发生产和销售，议价能力较公司相比更强，因而产品毛利率相对较高；与公司产品在半导体产线应用场景较为相像的上市公司为京仪装备，公司各期毛利率与京仪装备无显著差异。

公司可比公司拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微和京仪装备在半导体设备领域各具特色，其中京仪装备与中科仪同属半导体设备配套领域，产品均面向晶圆厂辅助设备。拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备2025 年PE/2025年PE（扣非后）分别为 118.17/未披露、62.06/69.71、59.12/61.18、91.71/124.95、497.14/-1971.03、123.62/158.72 倍，均值为 84.13/114.95 倍。公司发行后股本为23,383.91 万股，发行价对应发行后市值为 36.28 亿元，对应 2025 年 PE/2025 年 PE（扣非后）为4.30/35.23 倍，相较于可比具备较大的折价。

中科仪：国内尖端科学仪器设备及真空技术的领军

者公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司被评为 2020 年度、2023 年度国家“专精特新”小巨人企业。 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X 射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于2013 年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用 MBE 设备研制领域居于国内领先地位。

干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断。干式真空泵产品满足14nm 先进逻辑芯片以及 128 层及以上 3D NAND 等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、SK 海力士、客户 I 的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。2023-2025 前五大客户占比超 40%，覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创等头部客户。

公司主要从事干式真空泵、真空科学仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。公司通过向集成电路制造企业、光伏产品生产企业、相关设备制造企业以及高等院校、科研院所销售干式真空泵、真空科学仪器设备、配件或提供技术服务获取收入和利润。公司干式真空泵产品的客户主要为集成电路制造企业、光伏产品制造企业及相关设备制造企业，获取订单的方式主要为招投标和商务谈判，产品销售方式主要为直销。其中，上海华力、隆基绿能等集成电路和光伏产品制造企业系公司干式真空泵产品的终端用户，公司与该类客户直接签署销售合同；同时，公司也存在向装备制造企业销售的情形，由装备制造企业集成本公司产品再向集成电路或光伏产品制造企业销售。除直销以外，2023-2025 年，公司干式真空泵产品还存在少量经销，即公司将产品销售给经销商，再由经销商向终端用户提供产品。2023-2025年，公司经销收入占干式真空泵销售收入的比例分别为 3.69%、1.82%、2.53%，占比较小。公司真空科学仪器设备产品的客户主要为科研院所、大专院校等科研单位，公司主要通过招投标或商务谈判，以直销的方式获取订单。此外，由于部分科研单位通过贸易商对仪器设备进行统一采购，公司存在少量向贸易商销售的情形。 公司实际控制人为中国科学院控股有限公司，控股股东为国科科仪控股有限公司。发行前，国科控股持有国科科仪 100%股权，其通过国科科仪控制公司35.21%股份，系公司的实际控制人。此外，国家集成电路产业投资基金股份有限公司持股比例为19.73%，为公司第二大股东。宁波浑璞景行创业投资合伙企业（有限合伙）持股比例为5.01%，为公司第三大股东。广州中科仪、上海上凯仪、南通中科仪均为公司全资子公司。南通中科仪主要从事干式真空泵的生产制造及研发，上海上凯仪主要从事干式真空泵的维修、保养等技术服务，广州中科仪主要从事干式真空泵的维修、保养等技术服务及相关研发。

得益于干式真空泵产品销量快速增长，公司近三年营收复合增长率为22.75%。公司近三年营业收入持续稳步增长，2023-2025 年营业务收入分别为 8.52、10.82、12.91 亿元，复合增长率达 22.75%，主要得益于公司产品市场竞争力较强叠加行业发展景气，干式真空泵产品销量快速增长。其中干式真空泵 2023-2025 实现销售收入分别为6.00、7.83、8.35 亿元，占主营业务收入的比例分别为 70.69%、72.44%及 64.70%，是公司经营业绩的主要来源。公司主营业务收入以内销收入为主，内销收入中销往华东、华中、华北及华南地区的金额及占比相对较大，是因为国内半导体晶圆厂、存储器厂主要建设于上述区域。 毛利率受光伏行业景气度影响有所下滑，扣非后归母净利润持续增长。公司2023-2025年综合毛利率分别为 33.02%、29.44%、26.78%， 2024-2025 年综合毛利率下滑主要系光伏行业景气度下行导致干式真空泵产品价格下滑。公司 2023-2025 年归母净利润分别为6.00、1.93、8.44 亿元，波动相对较大，主要系投资收益及公允价值变动导致；扣非后归母净利润分别为0.73、0.88、1.03 亿元，持续增长。

国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业

深厚的技术积淀与国家级研发平台构成公司核心创新优势。公司起源于20 世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，经过 70 年发展，在洁净真空、超高真空领域积累了大量技术工艺。公司先后承担十余次国家级重大科研专项，建有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，并牵头或参与编制 13 项国家、行业及团体标准。在干式真空泵领域，公司形成了基础技术、应用技术、测试技术三大研发平台，构建了包含1500 多项生产工艺的应用方案数据库，并自主研发出故障诊断分析、控制互锁等差异化技术。在真空科学仪器设备领域，公司在国内科研用 MBE 设备研制领域居于领先地位，1979 年即研发出第一台国产MBE设备，累计交付 60 余台；同时参与了北京正负电子对撞机、上海光源等11 项国家重大科技基础设施建设，是国家大科学工程领域真空仪器设备最主要供应商之一。丰富的产品线与领先的工艺覆盖能力奠定市场竞争优势。经过20 余年发展，公司干式真空泵已在集成电路、光伏、第三代半导体等领域实现超过 4 万台大批量使用，产品线涵盖罗茨泵、螺杆泵、涡旋泵三大系列近四十款型号，广泛支持 30 余家国内外主流设备厂商的数百种机台。公司产品已完整覆盖成熟制程的清洁、中等及除炉管外的苛刻工艺，并在先进制程清洁工艺实现大批量应用，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。 规模化生产布局与智能化制造体系打造强劲交付能力。公司自2014 年起构建干式真空泵生产能力，2016 年首次实现向 12 寸晶圆厂批量交付，目前集成电路领域出货量超3万台。随着南通生产基地 2022 年建成投产，公司形成沈阳、南通双基地架构，2025 年干式真空泵产能达 10,000 台，募投项目达产后总产能将达 2.65 万台。基于大规模生产实践，公司总结形成1500余项生产工艺技术，并持续提升自动化、智能化水平；同时构建了质量稳定、协同发展的供应链体系，为不同芯片类型和制程提供个性化制造解决方案。

智能化数据管理与客户资源壁垒形成双重护城河。公司是国内具备整合SUBFAB全类型设备数据能力的龙头企业，布局数据业务近 10 年，所售干式真空泵均配置CMS系统，并对外独立销售相关系统服务，相关产品已在先进制程集成电路企业大规模应用。在客户资源方面，由于干式真空泵对集成电路制造良率和成本影响重大，客户验证周期长、门槛高，一旦通过考察即形成长期稳固合作。公司 2017 年成为首个批量应用于集成电路制造工艺的国产真空获得设备制造企业，目前集成电路企业客户已超 100 家，产品通过台积电、SK海力士等测试验证，多次获评优秀供应商奖。 全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。公司在上海、广州等半导体和光伏制造主要地区设立分支机构，配备经验丰富的技术团队，提供干式真空泵维修保养服务，并在客户现场派驻专职技术人员，多次获得台积电优秀供应商奖。在人才建设方面，公司通过自主培养与外部招聘相结合的方式，构建了结构合理的研发、生产、管理和营销团队，同时引入国外专家带来国际先进技术；通过完善的薪酬福利体系、人才激励政策及核心骨干股权激励，激发团队凝聚力，形成良好的竞争和服务氛围，促进公司与员工共同成长。