2026年第6周电子行业周报：核心新股周巡礼系列10_恒运昌招股书梳理

恒运昌：国内领先的等离子体射频电源公司

1.1 历经十余载发展风雨兼程，恒运昌历经三个发展阶段，成为国内领先的等离子体射频电源公司

公司成立于 2013 年，2014 年公司首台 CSL 系列13.56MHZ/600W工业级射频电源研制成功，同时恒运昌公司分别在 2015 年、2016 年和2017 年公司的1000W、3000W 和 5000W 工业级射频电源研制成功；2018 年，首套Bestda 系列13.56MHz/1000W半导体级支持 90nm 制程射频电源研制成功，2020 年，首台Bestda 系列13.56MHz/2500W半导体级支持 28nm 制程自动扫频射频电源研制成功；2022 年，首台Aspen系列13.56MHz/3000W 半导体级支持 14nm 制程自动调频射频电源研发成功；2023年，首台Aspen Plus 系列 13.56MHz/6000W 半导体级支持 14nm 制程自动调频射频电源研发成功。

公司于 2013 年成立，先后经历了起步探索期(2013-2017 年)、快速发展期(2018-2022 年)、持续创新期(2023-至今)。在各发展阶段，公司发展引进业务的同时，在自研方面以等离子体射频电源系统关键技术的不断突破为核心，围绕等离子体工艺核心零部件整体解决方案及产业布局实现阶梯式的发展。

等离子体射频电源系统通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。等离子体由于具有独特的光、热、电物理特性以及高活性、高能量的特点，为半导体精密制造提供了不可替代的工艺基础。如今等离子体工艺广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等芯片制造的重要环节，并随着先进封装技术的发展应用于更多工艺环节中。随着芯片结构的不断复杂化、半导体工艺制程的持续演进，等离子体工艺的关键作用将愈发凸显。

公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、等离子体激发装置(远程等离子体源、射频离子源)、等离子体直流电源、配件(滤波器、阻抗调整器等);引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件;同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。

1.2 公司自研产品主要为等离子体射频电源系统，已迭代三代等离子体射频电源系统系列产品

2022 年、2023 年、2024 年和 2025 年 1-6 月，恒运昌公司自研产品收入金额分别为 10,440.95 万元、23,911.70 万元、45,608.78 万元及25,787.44万元，占主营业务收入比例分别为 66.02%、73.51%、84.34%及84.81%，是公司主要收入来源且收入占比逐年提升。公司的自研产品主要为等离子体射频电源系统。

2022 年、2023 年、2024 年和 2025 年 1-6 月，公司自研产品中等离子体射频电源系统收入分别为 9,879.50 万元、21,640.56 万元、42,561.95 万元及23,272.97万元，呈快速增长趋势，分别占比营业收入的 94.62%，90.50%，93.32%和90.25%。等离子体射频电源系统包括等离子体射频电源和匹配器。

2022 年、2023 年、2024 年和 2025 年 1-6 月，公司自研产品中等离子体射频电源系统的均价持续上升，主要因为公司迭代产品结构的变化。公司等离子体射频电源系统不断迭代和提升性能，先后迭代推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt 三代等离子体射频电源系统产品系列，产品性能逐代提升，更加精准地满足芯片制造工艺对等离子体射频电源系统快速、精确、稳定的要求。公司最新一代产品 Aspen/Basalt 系列等离子体射频电源系统，已具备与MKS、AE 次新一代产品同等的性能指标，可应用于7-14 纳米先进制程，实现对美系巨头产品的国产替代，产品单价也相对较高。随着公司最新一代产品销售收入占比逐年提高，公司等离子体射频电源系统的均价持续上升。

公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。

历经十年，公司通过自研先后迭代推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt 三代等离子体射频电源系统系列产品，其中 Bestda 系列和Aspen/Basalt 两代产品主要面向半导体领域。

1.3 公司拥有核心技术，多款产品通过国内半导体龙头设备商及头部晶圆厂客户的认可

经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为导向，围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求和技术难点，构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3 大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。公司核心技术已建立完善的保护体系，核心技术已对应形成共计 97 项已授权发明专利，均为自主研发。

公司应用上述关键核心技术，已开发多款性能指标表现良好的产品，并已通过国内半导体龙头设备商及头部晶圆厂客户的认可。公司产品已批量应用于半导体28 纳米及以上工艺制程，可满足逻辑芯片、动态存储器(DRAM)和闪存(NAND)等芯片制造的需求。最新一代产品 Aspen 系列可支撑7-14 纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统(支持半导体先进制程)量产的国产厂商。

公司凭借核心技术竞争力与产品迭代能力，在半导体设备核心供应链中的渗透持续深化，头部客户拓展与业务放量成效显著，2023 年，公司对中微公司、北方华创、盛美上海等客户首次实现销售收入。2024 年，公司对中微公司、北方华创、微导纳米的核心技术业务收入分别达 4,288.56 万元、2,813.65 万元、2,306.19万元，相比 2023 年分别翻 7 倍、25 倍和 3 倍。2025 年1-6 月，公司进一步拓展新客户，实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破，客户结构持续多元化。